周期性梯度富硅SiNx薄膜的微结构与发光特性.PDFVIP

第29 卷 第 12 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 29 No. 12 2014 年12 月 Journal of Inorganic Materials Dec., 2014 文章编号: 1000-324X(2014)12-1270-05 DOI: 10.15541/ji 周期性梯度富硅 SiNx 薄膜的微结构与发光特性 1, 2 1 1 1 1 陈小波 , 杨 雯 , 段良飞 , 张力元 , 杨培志