国家奈米元件室微机电服务平台光微机电应用尚未有使用者需求.PDFVIP

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 微機電服務平台 (光微機電應用尚未有使用者需求) 新竹奈米元件廠何家驊廠長 NDL目前已經開放奈米機電以及微機電服務平台，目前已經有多個成功案例，唯光 微機電技術因目前仍無學界提出需求並進行原型產品之開發， 希望有興趣的教授共 同參與 連絡人何家驊 chho@ndl.narl.org.tw 102年4月3日 0 奈米機電平台技術簡介 (NEMS/MEMS)  金屬微加工製程(6吋 and 8吋 )  以4層金屬為基礎建置標準 MEMS服務平台  MEMS: 約100道製程 NDL