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气体传感器 1 概述 2 半导体气敏器件 2.1 电阻型半导体气敏器件 SnO2气敏元件特点： 工作温度低；输出信号大，无需高倍放大；应用范围最广 工作原理： 2.1 电阻型半导体气敏器件 原理和SnO2相似，有烧结型、厚膜型、薄膜型 电阻型气体传感器的主要特性参数： 固有电阻R0和工作电阻RS 灵敏度S S＝ RS / R0 响应时间T1 恢复时间T2 加热电阻RH和加热功率PH 电阻型气体传感器优缺点： 成本低、制造简单、灵敏度高、响应快、寿命长、对湿度敏感低、电路简单。 工作于高温下、选择性较差、元件参数分散、稳定性不理想、功率要求高、当探测气体中混有硫化物时容易中毒。 2.2.1 结型气敏器件 利用MOS二极管的电容-电压特性的变化 2.2.2 MOSFET型气敏器件 2.2.2 MOSFET型气敏器件 3 固体电解质气体传感器 3 固体电解质气体传感器 接触燃烧式气体传感器* 接触燃烧式气体传感器 4 其他气体传感器 4 其他气体传感器 5 气体传感器的应用 5 气体传感器的应用 5 气体传感器的应用 5 气体传感器的应用 * * 分类： 基本性能要求： 选择性；重复性；实时性。 SnO2、ZnO、Fe2O3等材料存在气敏效应，当表面吸附某种气体时会引起电导率的变化。 作为传感器，还要求这种反应必须是可逆的。