[原创]用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池Zn／Al背反射电极.docVIP

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2018-12-22 发布于福建
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[原创]用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池Zn／Al背反射电极

用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO／Al背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO／Al背反射电极.txt心若无尘，一花一世界，一鸟一天堂。我曾经喜欢过你，现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天，那个不带伞的少年，那句被门挡住的誓言，那串被雪覆盖的再见本文由yahoo814贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。维普资讯第３６卷第６期　２００７年１　２月一　工　晶体　学　报　人　ＪＵＲＮＡＬＯ　ＳＯ　ＦＹＮＴＴＩ　ＣＨＥＣＲＹＳＡＬ　ＴＳＶｏ．６Ｎｏ６１３　．　Ｄｅｅｅ。０７ｃｍｂｒ２０　用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳　电池ＺＯＡ背反射电极　ｎ／Ｉ薛俊明，孙　建，任慧志，刘云周，苓伟，．段　周祯华，张德坤，赵颖，新华　耿（南开大学光电子薄膜器件与技术研究所；光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室；　光电信息技术科学教育部重点实验室，天津３０７）００１　摘要：本文首先在低温（４￣和低功率下采用ｚ：ｌ１０Ｃ）ｎＡ合金靶直流反应磁控溅射法研制ＺＯ：１明导电膜。然后　ｎＡ透在单结（ｌｓＳＯ／ｉ／或双结（ｌｓＳＯ／ｉ／ｉ／非晶硅电池上沉积约７ｇａ／ｎ　ｐ）ｓｎｇｓ／ｎ　ｐｐｎ）ａｎ０一ｌＯｍ厚的ＺＯ透明导电膜，Ｏｎｎ最　后再用电阻蒸发法沉积Ａ电极。实验获得了较好的ｎ／ｎｌ　ＺＯ界面，实现了ＺＯＡ背电极的增反作用，电池的短　ｎ／１使路电流增加１３Ａｃ　光电转化效率提高１— ％（￣ｍ／ｍ，３绝对效率）小面积电池效率达到９５　，．％。关键词：晶硅电池；ｎ／１非ＺＯＡ复合背电极；背反射；短路电流；转换效率　中图分类号：４４０８　文献标识码：　Ａ文章编号：００９５２０）６１８－５１０ —８Ｘ（０７０ —２３０　Ｓｕｙｏ　ｎｔｄ　ｆＺＯ／Ａ！ＢａｋＲｅｅｔｒｏ　ｃ　ｆｃｏ　ｆＡｍｏｐｏｓＳｌｏ　ｌｒｈｕ　ｉｃｎｉＳｏａ　ｌｓｗｉｈＤＣ－ａｎｅｒｎＳｔｅｉｇｌｒＣｅｌ　ｔ　ｍｇｔｏ　ｐｕｔｒｎ　ｘ　ｕ — ｎ．ＵＮＪａＲＥ　ｉｈ，ＵＹｎｚｏＤＵＡ　ｉｇｗｉ　ＵＥＪｎｍｉｇｓ　ｉｎ，ＮＨｕ— ｉｌ　ｕ－ｈｕ，ｚＩＮＬｎ．ｅ．ＺＨｏＵ　ｅ．ａＺｈｎｈｕ　ｚＨＡＮＧ　．ｕ　ＺＨＡｏ　ＤｅｋｎＹ　ｇ　ＧＥＮＧ　ｎ．ｕ　Ｘｉｈａ（ｎｔｕｅｏ　ｈｔ—ｌｃｏｉＴｉＦｌ　ｅｉｓａｄＴｃｎｌｇ．ａｋｉｎｖｒｔ：ｅ　ａｏａｏｙｏ　Ｉｓｔｔ　ｆｏｅｅｔｎｃｈｎｉＤｖｅ　ｎ　ｅｈｏｏｙＮａ　ｉｓｙＫｙＬｂｒｔ　ｆｉＰｏｒ　　ｍｃｎＵｅｉｒＰｏｏｅｅｔｎｃＴｉ　ｉ　ｅｉｓａｄＴｃｎｌ　ｆｉｊ；ｅ　ａｏａｒｏ　ｐｏｌｔｎｃｈｔ—ｌｒｉｈｎＦｌＤｖｅ　ｎ　ｅｈｏｏｏ　ａｉＫｙＬｂｒｔｙｆｔｅｒｉｃｏ　ｍｃｙｇＴｎｎｏ　Ｏｅｃｏ　ＩｆｒｔｎＳｉｎｅａｄＴｃｎｌｇ，Ｍｉｉｔｙｏ　ｄｃｔｎｎｏｍａｉ　ｃｅｃ　ｏｎ　ｅｈｏｏｙｎｓｒ　ｆＥｕａｉｏ，Ｔａｊ　００ｌＣｉａ　ｉｉ３０７，ｈｎ）ｎｎ（ｅｅｅ　　ｅｒａｙ２０，ｃｐｅ　０Ｊｌ　０７　Ｒｃｉｄ８Ｆｂｕｒ０７ａｃｔ２　ｕｙ２０）ｖ　ｅｄＡｂｔａｔＴｈ　Ｚｓｒｃ：ｅ