feco基高频软多层膜的制备与性能研究-材料工程专业毕业论文.docxVIP

厦门大学硕士论文 目录 Abstract．．． ．．． ．．．． ．． ．．．．．．．． ． ．．． ．．．．．．．．．．．． ．．．．． ．．13 第一章绪论 。15 1．1 引言 ．15 1．2 研究背景 15 1．3 纳米软磁薄膜的研究现状 17 1．3．1 纳米软磁薄膜分类 17 1．3．2 纳米软磁多层膜的研究进展 19 1．4 本文研究目的和内容 ．．20 第二章高频软磁薄膜基础理论 24 2．1 静态磁学特征 24 2．1．1 磁滞回线和磁各向异性 24 2．1．2 随机各向异性模型和软磁性能 26 2．1．3 颗粒间耦合和层间耦合作用 29 2．2 动态磁学特征 30 2．2．1 动态磁导率和共振频率 30 2．2．2 动态磁损耗机制 32 第三章多层膜的制备与研究方法 ．34 3．1薄膜制备技术 34 3．1．1 薄膜制备技术的选择 34 3．1．2磁控溅射的原理 34 3．2 实验样品制备方法 35 3．2．1 实验设备及材料 36 3．2．2 实验参数和影响因素 37 3．3 样品结构和性能分析 ．．39 3．3．1 台阶膜厚测量 39 3 万方数据 万方数据 厦门大学硕士论文 3．3．2 X射线衍射分析 40 3．3．3 扫描电子显微分析 40 3．3．4 四探针电阻测量仪 4l 3．3．5 静态磁学性能分析 42 3．3．6高频磁谱的测量 43 第四章【FeCo．O／Nizn．Ferrite]一多层膜性能调控 ．．46 4．1 引言 。46 4．2 薄膜制备参数 ．46 4．3 NiZn．铁氯体厚度对薄膜性能的影响 47 4．3．1 结构和形貌分析 47 4．3．2静态磁学性能分析 48 4．3．3 高频磁学性能分析 51 4．4 FeCo-O层厚度对多层膜性能的影响 。52 4．4．1 结构和形貌分析 53 4．4．2静态磁学分析 54 4．4．3 高频磁学性能分析 57 4．5 倾斜溅射角度对多层膜性能的影响 ．59 4．5．1 静态磁性能分析 砷 4．5．2 高频磁性分析 63 4．6 本章小结 ．64 第五章FeCo基厚多层膜的性能调控 ．．66 5．1 弓l言 ．66 5．2 FeCo-O单层薄膜厚度探索 。66 5．2．1 单层膜厚度对结构和表面形貌的影响 67 5．2．2 单层膜厚度对静态磁学性能的影响 68 5．3 NiZn．铁氧体中间层对厚多层膜性能的调控 7l 5．3．1 NiZn．铁氧体中间层厚度对结构和表面形貌的影响 ．．71 5．3．2 NiZn-铁氧体中间层厚度对静态磁性能的影响 ．．73 5．4 Ti02中间层厚度对厚多层膜的调控 ．76 4 万方数据 厦门大学硕士论文 5．4．1 Ti02中间层厚反对结构和表向形貌的影响 76 5．4．2 Ti02中间层厚度对电学和磁学性能的影响 78 5．5 本章小结 。80 第六章总结 82 攻读硕士期间发表的论文 90 致谢 ．9 1 厦门大学硕士论文 6  厦门大学硕士论文 Table of Contents Abstract in Chinese．． ．． ． ．． ．． ．． ．．．．．．． ． 1 1 Abstract in English．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．13 Chapter I Introduction．．．．． ．．．．．．．．．． ． ．．．．．．．．．． ．．．．． ．．．．．．．1 5 1．1 Foreword 1．2 Research Background ．．15 1．3 The Research Status of Nano Soft Magnetic Thin Film ．1 7 1．3。I Classification ofNano Soft Magnetic Thin Film ．17 1．3．2 The Research Progress ofNanometer Magnetic Multilayer Film． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．． ．．．．．．．】【!jI 1．4 Research Purpose and Content ．．20 ChapterⅡHigh Frequency Soft Magnetic Thin Film Theory24 2．1 Static Magnetic Characteristics ．24 2．1．1