第四章-光学薄膜的设计理论.pptVIP

* 光学薄膜设计理论 设计具有特定光学特性的多层膜组合通常需要借助解析设计的方法和手段，适当组合光学薄膜结构单元，以满足对光学特性的要求。对更苛刻或更特殊的技术要求，还需要在解析设计的基础上经过最优的数值设计，进一步优化膜系的光学特性，更好满足要求。 矢量作图法（适合层数较少的多层减反膜） 本方法的两个前提 1、膜层没有吸收 2、在确定多层膜特性时，只考虑入射波在每个界面的单次反射，即忽略了界面上的多次反射。 虽然是近似计算，对大多数类型的减反膜，误差是足够小的。此法计算简便，而且直观，在减反膜计算和设计中有很大实用意义。 多层膜界面上的反射振幅矢量 举例 前图所示膜系，令N0=1.0，N1=1.38, N2=1.90, N3=1.65, N4=1.52, 入射角 θ0= 0, 各层的光学厚度为N1d1= λ0/4, N2d2= λ0/2, N3d3= λ0/4, λ0=520nm, 用矢量法计算波长400nm， 520nm，650nm处的反射率 相继矢量之间的夹角 矢量图 有效界面法 单层介质薄膜的光学特性 由于上式第二项开始是无穷递减的等比数列，所以 这说明单层膜的两个界面可以用一个等效界面来表示，因此可以用递推法或矩阵法把单层膜反射系数推广到任意层膜的场合，这就是菲涅耳系数的递推法和矩阵法。 有效界面法或Smith方法，其基本思想是使选定的膜层从膜系中分离出来，整个膜系组合可以用两个有效界面表示，只要考虑一膜层中的多次反射，对多层膜特性就可以分析，全部要求在于求出选定层两侧子膜系的反射系数和透射系数。 此式的重要特点是相位关系和振幅关系可分别研究 在特定类型滤光片设计中有重要价值 缓冲层概念 从上式可以看出，当选定层任意一侧的反射率为零，即 与选定层的厚度无关，即选定层的厚度变化不影响整个多层膜的反射率（或透射率），这时该选定层称为“缓冲层” 缓冲层与虚设层的关系 虚设层是有效光学厚度等于半波长或其整数倍，在参考波长处它对薄膜系统的特性没有影响，也即只要保持光学厚度不变，折射率的任何变化不改变整个多层膜在参考波长处的光学特性 缓冲层在保持R1=0或R2=0条件下，其厚度是可以任意改变的。 他们都提供了一个额外的设计变量来满足其他波长或倾斜入射是另一偏振分量的光学特性要求。 对称膜系的等效层 单层膜的特征矩阵： 虽然对于无吸收的介质膜系，其矩阵元M11和M22为实数，M12和M21为纯虚数，而且行列式值为1,但一般来说，M11不等于M22，因此不能和一个单层膜等效。 但对于以中间一层为中心，两边对称安置的多层膜，却具有单层膜特征矩阵的所有特点，在数学上存在一个等效层。 *