原创力文档第卷第期光学精密工程年月文章编号微电铸器件铸层均匀性的研究杜立群刘海军秦江朱神渺大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室辽宁大连大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室辽宁大连摘要理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究实验采用的微电铸器件是特征宽度为的微流控芯片的金属模具微电铸实验主要包括三个步骤制作胶胶模微电铸和去除胶为了对实验结果进行对比分析两组实验的工作时间和电流强度均采用和将正负脉冲电流微电铸与正脉冲电流微电铸
第 卷 第 期 光学 精密工程
１５ １
Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
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