基于n位旋转测量的光学平面绝对检测技术研究-光学工程专业论文.docxVIP

硕士学位论文 基于N位旋转测量的光学平面面形绝对检测技术研究 目 录 摘 要 。I Abstract II 1绪论 ．． ．．1 1．1课题研究背景及意义 ．．1 1．2课题研究现状 l 1．3本文研究工作 ．．5 2绝对检测技术的理论基础 7 2．1常用的绝对检测法 7 2．1．1传统三面互检法 7 2．1．2 Zemike多项式拟合法 8 2．1．3奇偶函数法 ．．t l 2．2基于N位旋转测量的绝对检测方法 ．．15 2．3仿真分析 。17 213．1基于N位旋转测量的绝对检测算法仿真 ．17 2．3．2奇偶函数法原理仿真 18 2．3．3误差分析 ．．1 9 2．4本章小结 ．2l 3元件中频误差的评价 。22 3．1 PSD中频误差数据处理过程 ．22 3．2空域处理方法 25 3．2．1 Quad．Flip技术 ．26 3．2．2窗函数 ．．28 3．2．3窗函数补偿系数 ．．29 3．3误差函数滤波窗 3 l 3．4系统误差影响仿真分析 32 3．4．1系统误差对PSDl的影响仿真分析 32 3．4．2系统误差对被测件塌陷曲线的影响仿真分析 ．33 3．5本章小结 34 4实验验证与数据分析 ．35 4．1 FizCam．2000EP动态干涉仪 36 4．1．1相移干涉技术 37 III 万方数据  目录 硕士学位论文 4．】．2 FizCam．200