氧化石墨烯薄膜厚度对元件湿敏性能的影响-材料导报.PDFVIP

· · 材料导报 ：综述篇 年 月（）第 卷第 期 １４０ Ａ ２０１６ １２ Ａ ３０ １２ 　 　 氧化石墨烯薄膜厚度对元件湿敏性能的影响 ， １ ２３ ２ 陈 浩 ，彭同江 ，孙红娟 　 （ 西南科技大学理学院，绵阳 ； 西南科技大学矿物材料及应用研究所，绵阳 ； １ ６２１０１０２ ６２１０１０ 　 　 ３ 西南科技大学分析测试中心，绵阳６２１０１０） 　 摘要　　以改进 Ｈｕｍｍｅｒｓ法获得的氧化石墨为原料制备氧化石墨烯，采用旋涂法通过使用不同浓度的氧化石 墨烯水相分散液制备不同厚度的氧化石墨烯薄膜湿敏元件。采用 射线衍射仪（ ）、红外光谱仪（ ）、扫描 Ｘ ＸＲＤ ＦＴＩＲ 电子显微镜（ ）、扫描探针显微镜（ ）和湿度测试仪对氧化石墨烯薄膜的结构、形貌和湿敏性能进行分析。结 ＳＥＭ ＳＰＭ 果表明，在室温下随氧化石墨烯薄膜厚度减小（ 、 、 、 和 ），湿敏元件响应时间由 １３９ｎｍ １０２ｎｍ ６５ｎｍ ３５ｎｍ １８ｎｍ １０ｓ 缩短至 ，恢复时间由 缩短至 ；在 范围内，湿敏元件电阻随湿度增加而显著减小，从兆 ２ｓ ３７ｓ ８ｓ １１．３％ ９３．６％ＲＨ ～ 欧级减小至千欧级，变化达到 个数量级；湿敏元件的最佳响应时间为 ，恢复时间为 ，最高灵敏度可达 ３ ２ｓ ８ｓ ９６．０６％，具有较好的湿敏性能。 关键词 氧化石墨烯 薄膜厚度 旋涂法 叉指电极 湿敏性能 　 　 　 　 　　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ Ｏ６１３．７１ Ａ 犇犗犐１０．１１８９６．ｉｓｓｎ．１００５０２３Ｘ．２０１６．２３．０２１ 　　 　　 ｊ 犐狀犳犾狌犲狀犮犲狅犳狋犺犲犜犺犻犮犽狀犲狊狊狅犳犌狉犪犺犲狀犲犗狓犻犱犲犜犺犻狀犉犻犾犿狅狀犎狌犿犻犱犻狋犛犲狀狊犻狋犻狏犻狋 狆 狔 狔