基于MgxZn1xO薄膜固体装配型体声波谐振器.PDFVIP

第 35 卷 第3 期 Vol. 35, No.3 2016 年 5 月 Journal of Applied Acoustics May, 2016 ⋄ 研究报告⋄ 基于Mg Zn O薄膜固体装配型体声波谐振器 汪 军 段 力 刘一剑 苏言杰 沈 勇 卢学良 张亚非 (上海交通大学电子信息与电气工程学院 上海 200240) 摘要 本文研制了一种基于磁控溅射掺镁氧化锌(Mg Zn O) 压电薄膜的S 波段固体装配型体声波谐振器 (SMR-FBAR)。相比传统的氧化锌(ZnO) 薄膜，Mg Zn O 具有高纵波声速，高电阻率优点，而且Mg 原子以 替位或填隙的方式进入晶格，没有改变ZnO 的铅锌矿结构。通过优化磁控溅射参数的方法，获得了 轴方向