机械工程测 第三章.ppt

5.按能量关系分类 1)能量转换型（无源型）：可将输入的信号直接转换为电信号输出的传感器。 例：压电式传感器、电磁式传感器、热电式 传感器等。 2）能量控制型（有源型） ：在辅助电源作用下，将被测的信号转换为电参量变化的传感器。 例：电阻式传感器、电容式传感器、电阻应变式传感器等 6.按输出信号的性质分类 第三节 电阻、电容、电感式传感器 一.电阻器式传感器 1.变阻器式传感器 1）结构形式 3）工作特性 ①空载特性 ②负载特性 4）特点 优点：结构简单、性能稳定、使用方便 缺点：分辨率低（20μm ） 、易磨损、噪声大。 （2）半导体式 3.固态压阻式传感器 1）工作原理 与半导体应变片相同——利用半导体材料的压阻效应。 2）区别——半导体应变片由单晶半导体材料构成，工作时粘贴在敏感元件上。固态压阻式传感器中的敏感元件是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻，故 也称为扩散型半导体应变片。 3）应用 主要用于测压力 与加速度。 二.电容式传感器 （1）角位移型 3）介质变化型 （2）（变隙式）工作原理 ①工作原理： ②灵敏度 2)自感式—电涡流式传感器 （1）结构形式 （2）工作原理 （3）测量电路 ①调幅电路 （4）应用：可测位移（数微米-数百毫米）、振幅、板厚、材料热膨胀系数、金属探伤等。 2.工作原理及测量电路 1)动圈式 （1）线速度型　 （3）测量电路 2.磁阻式 二、压电式传感器 2)压电陶瓷 3. 压电式传感器测量电路 1)压电式传感器的等效电路 2)压电式传感器的测量电路与响应特性 （1）传感器与测量线路的连接 （2）响应特性 设 则 三、热电式传感器 1.热电偶传感器 1）工作机理——热电效应 2）热电偶的几个定律 (1)中间温度定律 (3)标准电极定律 2.热电阻传感器 工作机理—基于电阻材料阻值随温度变化的特性 类别—分金属热电阻和半导体热电阻两大类，前者称为热电阻，后者称为热敏电阻 1)铂电阻 （1）结构 （2）铂电阻的温度关系（经验公式） 第五节 光电传感器 光电传感器是将光信号转换为电信号的传感器 一、光电测量原理 理论基础－光电效应 1.外光电效应 光照作用下，物体内的电子从物体表面逸出的现象 2.内光电效应（光导效应） 光照作用下，物体的导电性能发生改变的现象 3.光生伏特效应 光照作用下，物体产生一定方向的电动势的现象 3）基本特性 *光照特性 *频率特性 *光谱特性 *温度特性 2.真空光电管或光电管 1)结构 a）金属底层光电阴极；b）光透明阴极 2）光电管的基本特性　 （1）光电阴极的基本特性-频谱灵敏度、红限、 逸出功 （2）光电特性 （3）伏安特性 3.光电倍增管 1)结构　 2）工作原理　 4.光敏电阻 1）工作原理—基于内光电效应工作，无光照时，电阻很高，有光照时电阻很低 2）光敏电阻的主要特征参数 (1)光电流、暗电阻、亮电阻 (2)光照特性 (3)伏安特性 (4)光谱特性 (5)响应时间 (6) 温度特性 5.光敏晶体管 分为光敏二极管和光敏晶体管两类。 1）光敏二极管 3）光敏管的基本特性 (1)光照特性 (2)伏安特性 (3)光谱特性 (4)温度特性 (5)响应时间 三、光电传感器的应用 基本测量方式： 1.光源测量式 2.光投射式 3.光反射式 4.光遮挡式 5.光断续式 光电式数字转速计 第七节 半导体传感器 类别：磁敏传感器、光敏传感器、固态图像传感 器、热敏电阻、气敏传感器、湿敏传感 器、集成传感器 一.磁敏传感器 1.霍尔元件 1）霍尔效应及霍尔元件 2）霍尔元件的应用 a.霍尔位移传感器 b.霍尔角位移传感器及转速传感器 c.霍尔压力传感器 e.霍尔汽车无触点点火器 2)磁阻元件