光学曝光技术.PDF

第2章 光学曝光技术 杨柳 optyang@ https :/// optyangliu 第2章 光学曝光技术 • 光学曝光方式与原理 • 光学曝光的工艺过程 • 光刻胶的特性 • 光学掩模的设计与制作 • 短波长曝光技术 = • 大数值孔径与浸没式曝光技术 • 光学曝光分辨率增强技术 • 光学曝光的计算机模拟技术 • 其他光学曝光技术 • 厚胶曝光技术 • LIGA技术 2 k 因子包含了所有透镜光学之外的对成像分辨率产生影响