项目一 体硅太阳电池制造工艺.ppt

九、PECVD技术的优势 1、低温成膜，常用温度区间 300～400oC，对基体影响小，避免高温工艺的不利影响。如：膜层晶粒粗大，膜层和基体间生成脆性相。 2、较低的压强下成膜（20-100Pa），粒子间碰撞、散射作用提高了膜厚及成分的均匀性，薄膜针孔少、组织致密，内应力小、不易产生裂纹。 任务五 电极制备 任务分析 任务目的 知识应用 太阳能电池的关键是PN结，有了PN结即可产生光生载流子，但有光生载流子的同时还必须将这些光生载流子导通出来，而丝网印刷工序印刷浆料的主要作用就是为了导电，把电池片中的电子导通出来 。 任务分析 1、丝网： （1）印背电极：用银-铝浆，起导通作用，进行组件组装时方便焊接 （2）印背电场：用铝浆，收集电流，产生背表面场。 （3）印表面电极：用银浆，形成栅线，收集光生载流子。 2、烧结：蒸发浆料中的有机成分，使浆料和硅片形成良好的欧姆接触 任务目的 一、基本原理 二、工艺流程 三、操作注意事项 四、常见不良及对策 知识应用 利用网版图文部分网孔透墨，非图文部分网孔不透墨的基本原理进行印刷。印刷时在网版上加入浆料，刮胶对网版施加一定压力，同时朝网版另一端移动。浆料在移动中从网孔中挤压到承印物上，由于粘性作用而固着在一定范围之内。由于网版与承印物之间保持一定的间隙，网版通过自身的张力产生对刮胶的回弹力，并通过回墨刀将浆料轻