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真空箱的工作原理 箱体示意图 箱体工作流程 首先打开预抽阀门由预抽泵组对箱体抽空25秒（粗抽），然后关闭预抽阀门，再打开检漏阀门由检漏泵组继续对箱体进行抽空（精抽），并不断判断真空箱的真空度有没有到达检漏真空度（一般是10~20Pa），如果真空到达则打开检漏仪阀门，让检漏仪检测信号的大小。 具体说明 与箱体的相关参数 检漏压力 响应时间 报警阈值 开关门超时时间 预抽时间 真空箱检漏超时时间 检漏压力 检漏压力和箱体本底的关系 本底的概念 本底是指没有氦气信号输入时检漏仪显示的值。 真空箱本底是指真空箱内不放任何物体时，检漏仪显示的信号。 如果真空箱内放入工件后，由于工件表面存在放气现象，可能会造成抽真空的时间加长，如空箱时需要15秒可将箱内真空度抽到10Pa，但是放入工件后可能需要18秒才能抽到10Pa。此时在相同的真空下箱体的本底值可能是不一样的，这是由于工件表面虽然会藏气，但是这些藏气的氦气含量较低，由于真空箱预抽的时间变长所以氦气浓度更低，本底也就相应变小。 如果检漏压力设定的太高，如设定到100Pa则可能箱体的本底会很高，可能会高达10-8 Pa·m3/S， 这样可能会产生误报。但是如果将检漏的压力设定的过低，虽然可以提高检漏精度，但是会延长抽空的时间，造成效率的下降。所以检漏压力的设定应该根据箱内工件的实际情况设定。 具体方法如下，取两只合格的工件，将