光致抗蚀剂全息图及其复制品的特性.PDFVIP

  • 21
  • 0
  • 约5.01万字
  • 约 8页
  • 2019-01-03 发布于天津
  • 举报

光致抗蚀剂全息图及其复制品的特性.PDF

光致抗蚀剂全息图及其复制品的特性

图 品 光致抗 剂 其 制 的 蚀 全息 及 复 特性 试验研 了用光 抗 制 的 浮雕全息图及用 压方法 其复 品的 。 弄 光 究 致 蚀剂 造 表面 模 制 制 特性 清 致 、 , 抗蚀剂全息图及其复 品的最高衍 效 几乎具有相同 一 一 而且原始全 仓图及 制品的 制 射 率 值 共父 。 址 苍 噪比 丰「当之好 信 都 光致抗蚀剂 须用 异 工业 的 心 必 半 体 中 离 法涂 一 上。 玻璃板 的 方 布在某 墓片 在 墓片 背 目 舌 。 面涂黑漆 以 少 反射 光致抗 剂膜层 层 减 内 蚀 , ℃ 全息图 诸 际应用 贝全 息 图 的 度大约为 入 曝 之前 在 付 实 时考 厚 光 在 温 。 、 。 是一 很重要 问题 考贝全 息 的 下预热 光抗 剂的光 个 有许多 图 方 度 分钟 蚀 语 , 〔‘’, ‘“ , ’ 灵 度 波区域 一 人 是高 法 例如接 印刷 干涉 压方 敏 在 短 触 及 模 。

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档