结构缺陷对TIN腐蚀起始.pdfVIP

结构缺陷对TIN腐蚀起始的影响 摘要：氮化钛薄膜是沉积在304不锈钢上，使用直流磁控反应溅射制备的 用原 子力学显微镜 （AFM），采用原位观察技术研究起始结构上的缺陷，如气孔 和针孔与腐蚀的关系 研究发现，在支队形式较大的孔隙结构开始发生腐 蚀，颗粒是腐蚀产物的运输路径的插头，而足够小针孔容易填写的腐蚀产 物而腐蚀初期,同时，腐蚀产物膜的表面粗糙度随腐蚀时间的增加而改进 极化测试后的腐蚀形态 表明 越来越大的坑出现在 有大的结构缺陷镀锡 基板,，如通过膜孔或针孔存在于薄膜的高密度区，这是由AFM观察得到 的与这些结果对应的的原位的协议 此外，偏压对薄膜耐腐蚀性影响也涉 及到对结构缺陷的影响 关键词：氮化钛薄膜 磁控溅射腐蚀 结构缺陷 AFM原位观察 介绍： 氮化钛薄膜一直服务于耐磨性，耐腐蚀行业，由于扩散和装饰涂料的障碍导 致其高硬度，高耐磨性，化学稳定性以及具有漂亮的颜色这些薄膜可以由PVD技 术如离子束沉积，阴极电弧沉积反应溅射制得，其中，有相当数量的的研究已经 在反应溅射下进行，目的为了研究TiN工艺参数之间的关系，薄膜的结构和材料 的最终性能 采用磁控溅射法，薄膜的机械性能和耐腐蚀性能的制备