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第 26 卷 第 5 期 半 导 体 学 报 Vol . 26 No . 5
2005 年 5 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S May ,2005
基于 CV , IV , QV 特性的铁电电容新模型
陈小明 汤庭鳌
( 复旦大学微电子学系 A SIC 和系统国家重点实验室 , 上海 200433)
( ) (
摘要 : 推导出描述铁电电容电气特性的新模型. 铁电电容可以等效为开关电容 电畴电容 和非开关电容 普通线
)
性电容 的并联 ,而电畴电容可以看作是由电偶极子组成的铁电材料 、上电极和下电极组成. 根据实验测试的铁电
电容的 CV 特性 ,选定电
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