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大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造-光学精密工程.PDF

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    第卷第期光学精密工程年月文章编号大面积纳米压印光刻晶圆级复合软模具制造兰红波郭良乐许权钱垒青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室山东青岛摘要为了解决大面积纳米压印所面临的大尺寸晶圆级复合软模具低成本制造的难题对于当前广泛使用的大尺寸晶圆级双层复合软模具开展了理论分析数值模拟和制造方法的系统研究提出并建立了复合软模具脱模过程和气泡缺陷理论模型利用工程模拟软件揭示了大尺寸复合软模具影响脱模的因素和内在规律提出一种大尺寸晶圆级双层复合软模具低成本制造方法并完成了满片双层复合软模具复制的实验验证研究结果为

    第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 棿 暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶棿 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 棿 暋 暋

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