Fe不同掺杂量对ZnO薄膜光致发光影响.PDFVIP

周婷婷 等 :Fe 的不同掺杂量对 ZnO 薄膜光致发光的影响 1961 Fe 的不同掺杂量对 ZnO 薄膜光致发光的影响 周婷婷 ,马书懿 ,毛雷鸣 ,丁继军 ,史新福 (西北师范大学 物理与电子工程学院 ,甘肃 兰州 730070) 摘 　要 : 　采用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了不 干燥 N2 气 吹干后迅速放入 真 空室 , 以纯度优 于 同掺杂量的 FeZnO 薄膜 ,分析不同掺杂量对薄膜光 99 . 99 % A r 为工作气体 , 50min 后能使真空室达到 ( ) - 4 学性能的影响 。利用 X 射线衍射仪 XRD