光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数.PDFVIP

第39卷第6期 中国测试 Vol.39 No.6 2013年 11月 CHINA MEASUREMENT TEST November，2013 doi院10.11857/j.issn.1674-5124.2013.06.003 光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数 1袁2 1 2 2 2 2 廖 荣 袁 张海燕 袁 杨铁铮 袁 谈 锬 袁 范 宇 袁 王道然 （1.广东工业大学材料与能源学院，广东 广州 510090；2.华南理工大学电子与信息学院，广东 广州 510641） 摘 要院依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理，并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软