毕业设计(论文)-角速度陀螺信号测量及标定方法研究.doc

精品文档 可编辑 1 绪论 1.1 引言 1.1.1 硅微机械陀螺仪的背景 微机械陀螺仪是基于微机械加工制造技术产生的高技术产品，是当代微机械电子系统（MEMS）领域和惯性领域新兴的重要的分支，而MEMS及其制造技术是在微电子工艺的基础上发展起来的 的前沿研究领域，它涉及到电子工程、机械工程、材料科学、物理学、化学以及生物医学等多种工程技术和学科。它是未来低成本、高精度、微尺寸、低功耗、抗高过载、高可靠性惯性测量原件的发展方向。它不仅用于武器装备的惯性导航系统和姿态测量系统等军事领域，同时还可以用于 、飞机、汽车、工业机器人、摄影、玩具、医疗器械的方向定位和姿态测量等民用商业领域。开展这一领域的研究工作，可以加速和促进我国对新型惯性测量原件的应用，这在高技术日益发展的今天有十分重要的研究意义。用微机电系统惯性制导和控制代替常规系统，特别是与GPS集合使用时，可提供精确度。针对这一背景，对硅微机械陀螺的研究具有深远的战略意义[1]。 1.1.2 硅微机械陀螺仪的现状 微机械陀螺是21世纪微纳米高科技领域中为电子系统（MEMS）最具有代表性的惯性期间，世界许多国家都在开展积极研发。硅材料结构完整、弹性好、比较容易得到高Q值（Q值是衡量电感器件的主要参数，是指电感器在某一频率的交流电压下工作时，所呈现的感抗与其等效损耗电阻之比，电感器的Q值越高，其损耗越小，效率越高， 电感器品质因数的