PSD位置传感器实验报告.docVIP

WORD格式 可编辑 专业知识整理分享 报告者：1004520233余敏 同组人：1004520235张昕煜 1004520209谢清楠 实验十 PSD位置传感器实验 一、实验目的： 了解PSD光电位置敏感器件的原理与应用 二、基本原理： PSD为一具有PIN三层结构的平板半导体硅片。其断面结构如图10—1所示，表面层P为感光面，在其两边各有一信号输入电极，底层的公共电极是用与加反偏电压。当光点入射到PSD表面时，由于横向电势的存在，产生光生电流，光生电流就流向两个输出电极，从而在两个输出电极上分别得到光电流和，显然。而和的分流关系则取决于入射光点到两个输出电极间的等效电阻。假设PSD表面分流层的阻挡是均匀的，则PSD可简化为图10—2所示的电位器模型，其中、为入射光点位置到两个输出电极间的等效电阻，显然、正比于光点到两个输出电极间的距离。 图10-1 图10-2 因为 所以可得