样品Gate测试记录.DOC

樣品Gate測試記錄 1.In、Ti均具黏滯性故越薄越好，使具有高緊密度原子排列的樣品有 可被鎊線的空間。 2.Al、Au較易被鎊線故越厚越好，因為如此鎊線時較不易傷害樣品表面。 測試記錄 8/21 ＊在SiGe表面鍍上 Ti 60-Al 380-Ti 60 (A) Ti 60-Al 380 (A) 發現後者不經過退火亦可輕鬆的打線(103℃) 原因可能是Ti的黏滯性質 8/22 ＞繼續在LiNbo3和GaAs表面鍍上Ti 60-Al 380 (A) 並用銅網製作歐姆接點 ＞以及在LiNbo3和GaAs表面鍍上In 60-Al 380 (A) 測試Ti和In黏滯性質的差異性 8/23 ＊LiNbo3鍍上Ti 60-Al 380 (A) 測試結果 可鎊線(103℃) ＊GaAs鍍上Ti 60-Al 380 (A) 測試結果 很難鎊線(103℃) ＊LiNbo3鍍上In 60-Al 380 (A) 測試結果 可鎊線(103℃)但第二鎊很難 ＊GaAs鍍上In 60-Al 380 (A) 測試結果 很難鎊線(103℃) 8/27 ＞繼續在LiNbo3和GaAs及Si表面鍍上In 60-Al 500 (A) ＊LiNbo3鍍上In 60-Al 500 (A) 測試結果 容易鎊線(103℃~105℃) ＊GaAs鍍上In 60-Al 500 (A) 測試結果 很難鎊線(103℃~105℃) ＊Si鍍上In 60-Al 500 (A) 測試結果 可鎊線(103℃~105℃)但易脫落無法鎊緊 結論： 在未經退火處理的前題下於LiNbo3的表面鍍上Ti -Al 或 In -Al 的靶材材質，再經適當的加熱（direct hotplant）就可以鎊線。 鎊線機測試參數 Ball size 6.0 Tool heat 4.0 Channel 1 power 3.0 Channel 1 time 2.0 Channel 2 power 3.0 Channel 2 time 2.0 9/04 ＞繼續測試Ti –Au靶材 ＊GaAs鍍上Ti 60-Au 500 (A) 測試結果 無法鎊線(~90℃) 無法鎊線(103℃~105℃) 無法鎊線(120℃~150℃~170℃) ＊GaAs鍍上Ti 60-Au 500 (A)….Anneal 200℃-10min 測試結果 無法鎊線(~90℃) 無法鎊線(103℃~105℃) 無法鎊線(120℃~150℃~170℃) ＊Si鍍上Ti 60-Al 500 (A) 測試結果 無法鎊線(~90℃) 很難鎊線,金球易脫落(103℃~105℃) 很難鎊線,金球易脫落(120℃~150℃~170℃) 結論： GaAs鍍上Ti 60-Au 500 (A)的鎊線測試中發現Ti –Au合金無法配合直接鎊線，往後再繼續測試Ti –Au合金的其他參數 鎊線機測試參數 Ball size 6.0 Tool heat 4.0 Channel 1 power 3.0 Channel 1 time 2.0 Channel 2 power 3.0 Channel 2 time 2.0 9/05 ＞接下來測試在GaAs直接鍍上Al的鎊線情形 ＊在GaAs上鍍Al 1000(A) 測試結果 容易鎊線但金球易脫落(103℃~105℃) 容易鎊線但金球易脫落(120℃~150℃) 結論： 猜測鎊線易脫落的原因可能為金球接觸面積較大或是磁嘴加熱不夠，現下決定調整鎊線機參數。 ＊在其他參數不變的情形下只改變鎊線機以下的參數： 原始參數 測試參數 Ball size 5.0 Ball size 6.0 Tool size 6.0 Tool size 4.0 測試結果 容易鎊線且較不易脫落(120℃) 原始參數 測試參數 Ball size 3.0 Ball size 6.0 Tool size 6.0 Tool size 4.0 測試結果 容易鎊線且不易脫落(100℃) ＊在真實樣品上不希望加熱太高所以繼續降溫測試 測試結果 均容易鎊線且不易脫落(90~80℃) 結論：GaAs上鍍Al 1000(A)的鎊線測試效果很好，接下來希望可鍍 的厚度可以更薄一點以配合實際製程(較易left off！)。 Ball size轉小時鎊線較不易脫落，但要注意磁嘴線距要更接近 且在與樣品接觸面間的電阻會變大