光学石英玻璃纳米级加工性能-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棽 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽棽暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棿 棻棻 暋 暋 暋暋斘旓旜棶棽棸棻棿 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棿棻棻灢棽椆椀椆灢棸椄 光学石英玻璃纳米级加工性能 灣 棳 棳 棳 棳 郭晓光 翟昌恒 张 亮 金洙吉 郭东明 暋 棬 棳 棭 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 辽宁大连 棻棻椂棸棽棻 椇 棳 棬 棭 摘要 提出了一种石英玻璃仿真模型的构建方法 并应用分子动力学 斖斈 仿真结合纳米压痕实验对石英玻璃进行了纳 暎 棳 暎 米级加工性能的研究 通过计算石英玻璃模型的密度和纳米硬度 验证了模型的准确性 对石英玻璃进行了纳米压痕 棳 暎 棳 棳 实验 得到了压痕曲线并观察了纳米压痕形貌 最后 对纳米级压痕过程进行了仿真 通过计算配位数研究了损伤层的 棾 暎 棳 棷 棳 形成及扩展机理 计算得到的石英玻璃模型的纳米硬度约为 椆棶椃暙棻棸棶椃斍斝斸密度约为棽棶棽椄 斻旐 与实际测量结果基 旂 暎 椇 棳 暎 本一致 仿真结果表明 石英玻璃有着稳定的塑性变形和少量的弹性变形 且存在压痕的尺寸效应 当压头压下时会形 棳 棳 椈 成大量的原子稠密区 失去原来共价键的强度 形成损伤层 而表面形貌主要是由于压头向两侧挤压原子和压头的黏附 暎 暎 作用形成的 仿真和实验结果都表明石英玻璃比较适合超精密加工 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 光学玻璃 石英玻璃 纳米压痕 分子动力学 超精密加工 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斞棻椃棻棶椃棾棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棿棽棽棻棻棶棽椆椀椆 斘斸旑旓灢旘旓斻斿旙旙旈旑 斿旘旀旓旘旐斸旑斻斿旓旀旓旚旈斻斸旍旍斸旙旙 旔 旂旔 旔 旂 灣 棳 棳 棳 棳 斍斦斚斬旈斸旓灢旛斸旑 斱斎斄斏斆旇斸旑灢旇斿旑 斱斎