电子束蒸发法制备掺钇稳定氧化锆薄膜的光学特性研究-本原扫描探针.PDFVIP

第 29 卷 　第 6 期 真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　学 　报 　　　　　　　 　　　　　　　　　　　 2009 年 11 、12 月 CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 673 　 电子束蒸发法制备掺钇稳定氧化锆 薄膜的光学特性研究 1 ,2 3 4 4 2 李朝阳 　邢光建 　杨永军 　赵 　俭 　陈 　强 ( 1 中国科学院理化技术研究所 ,激光物理与技术中心 　北京 　100190 ;2. 北京印刷学院等离子体实验室 　北京 　102600 ; 3. 北京石油化工学院材料科学与工程系 　北京 　102617 ;4. 中国一航北京长城测量技术研究所 　北京 　100095)