开题展示喷射电解射流去除激光加工表面热影响区实验研究.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 喷射电解射流去除激光加工表面热影响区的实验研究 姓名： 丁烨 班级： 1008301班 学号： 1100801020 指导老师：杨立军副教授 * 一、立项依据 二、研究内容、研究目标及拟解决的关键问题 三、拟采取的研究方案及可行性分析 四、项目特色与创新 五、进度安排及预期成果 六、研究基础与工作条件 七、项目经费预算 * * 1.2 国内外研究现状 主要介绍一下几种技术的国内外研究现状： ⑴ 激光加工后续光整技术 ⑵ 复合激光加工技术 ⑶ 激光辅助喷射电解加工 ⑷ 水导激光加工 ⑸ 飞秒激光加工 ⑹ 电解射流加工技术 * 1.2.1 激光加工后续光整技术 该技术是目前去除再铸层较为常用的方法。它是在用激光进行加工后，将表面已经产生的再铸层通过特殊的光整加工的方法，主要有磨粒流式的机械研磨、自腐蚀式的化学研磨等。这些方法已经在部分场合得到了广泛的应用，但是也存在一些不足之处。例如磨粒流去除再铸层时存在两个问题：一是斜孔两端存在去除不掉的死角；二是磨粒流容易沿着阻力较小的大气膜冷却孔挤出，造成直径较大的孔被磨大，直径较小的孔再铸层去除不掉。化学研磨去除再铸层时需掌握不同材料的再铸层在电解液中的腐蚀规律，控制适当的化学研磨时间，否则有可能在再铸层被完全去除后，继续腐蚀基材晶界，并且化学研磨中一种电解液通常只适用于某几种材料，即不同的材料可能需要配制不同成分的电解液，延长了工期。 * 1.2.2 复合激光加工技术 英国的曼切斯特理工大学激光加工研究中心发明了化学辅助激光加工技术，将某种盐溶液传送到激光束与加工材料的接触面上，使加工中既有水下激光加工的冷却、带走熔滴作用，又有溶液的热化学作用，基于激光及激光的热化学复合作用机理，不仅可以在加工过程中直接去除再铸层，而且可以提高材料去除率。美国的辛辛提拿大学研究并开发了复合熔融模式的激光微细加工技术。利用该项技术已经成功的在单晶硅片上加工出微米数量级的微结构，加工后表面质量良好，无明显的微裂纹和热影响区。香港理工大学研究了超声辅助激光加工技术，对铝基复合材料进行了加工研究。结果表明，通过施加超声振动，可以有效去除金属熔化物，所加工孔的深径比得到了提高，孔的质量得到了明显的改善，热影响区、再铸层以及盲孔的锥度都明显的减少。但是超声辅助激光加工由于对工件施加高频振动，易使零件、特别是硬脆材料零件造成疲劳损伤。 * 1.2.3 激光辅助喷射电解加工 格拉斯哥苏格兰大学的P.T.Pajak教授进行了激光辅助喷射电解加工的技术研究。该项技术以激光辅助电解加工，利用激光照射的辅助作用提高电解加工的定域性并及时去除电解过程中产生的钝化膜，以达到提高电解加工精度和效率的目标。试验结果表明电解加工的精度和效率大大提高，并且改善表面加工质量，加工表面无再铸层、残余应力和微裂纹；同时阴极化的电解液充当了电解加工工具的作用，省去了阴极的设计制造，提高了加工的柔性，便于实行加工过程的自动化。 * 1.2.4 水导激光加工 瑞士联邦技术研究应用光电研究所于1993年发明了水射流引导激光加工技术，该技术将聚焦激光束导入具有传输引导激光作用的高速流动射流中，激光在水与空气界面发生多次全反射后形成高能束流，利用激光和水射流的综合作用去除材料。该技术能够对硅、陶瓷、硬质合金以及金属箔片进行高效快速的加工，在半导体和微电子工业，特别是对热敏感材料切割方面取的了显著的成果。在国内我校王扬教授杨立军副教授等对聚焦激光与水束射流的耦合技术进行了深入研究，对激光与射流束耦合条件及射流稳定原理进行了系统理论分析，研制了相应耦合装置及光学对准检测系统，并对硅基晶片进行了水射流引导激光切槽研究，结果表明，水射流引导激光加工质量优于空气中激光加工，基本消除了热影响区与微裂纹。 * 1.2.5 飞秒激光加工 目前提高加工小孔、细槽、微缝等精细结构微观质量的主要技术措施之一就是采用更窄脉宽、更高峰值功率的激光器，如飞秒脉冲激光加工，可以明显的减薄甚至消除再铸层，减少热应力、微裂纹，飞秒激光的超快速时间和超高峰值特性将其全部能量迅速集中在限定的加工区域，实现对材料的非热熔性冷处理，获得传统激光无法比拟的高精度、低损伤等独特优势。激光在超短的时间内和极小的空间内与物质相互作用，作用区域内的温度在瞬间内急剧上升，并将远远的超过材料的熔化和汽化温度，使得物质发生高度电离，并在激光脉冲的冲击作用下，材料以等离子体向外喷发的形式得到了去除，并几乎带走了原有的全部能量。这一过程中避免了热熔