基于EOPCB的矩形聚合物光波导研究-物理电子学专业论文.docxVIP

摘 要 随着高速光通信和高性能并行处理计算系统技术的发展，要求印制电路板上芯片 和芯片之间的数据传输速度越来越快，带宽越来越大。当涉及大规模的数据操作和处 理时，传统的电互连由于其窜话、时钟偏移以及电磁干扰等固有的物理缺陷已经显得 不再适应。因此在未来的印制电路板（PCB）技术中芯片间的互连需要采用创新的互 连技术来替代已经成为现在系统瓶颈的传统电互连。由于光互连具有速率高、带宽大、 不受电磁干扰影响等卓越的优点和潜能，因而被认为是解决 PCB 技术瓶颈的首选方 案，近年来关于电－光印制电路板（EOPCB）的技术开始被报道。并行多处理器系统 通常由位于一个机械框架中的处理器板构成，板上芯片间的光互连可以通过在板中嵌 入光纤或者光波导来实现。采用旋涂、反应离子刻蚀以及光刻技术制作聚合物光波导 已有报道，但是对于诸如带光互连层的印制电路板的大尺寸应用，这些技术却并不合 适。 本文介绍了一种制作用于 EOPCB 的光波导的新方法——刮刀法，这种方法适合 大尺寸光波导的制作。EOPCB 系统通过在电路板嵌入多模聚合物光波导在板上集成 了光这种信息载体。为了在 EOPCB 系统中制作光波导层，首先采用了 SU8 光刻胶来 制作用于光波导芯层铸造的模具，然后在 SU8 模具的槽中注入芯层聚合物材料并通 过刮刀法来使芯层成形；再以 FR4 基底材料，将芯层用包层聚合物材料包覆从而完成 光波导层