等离子体化学-1..pptVIP

等离子体化学与工艺 概述 一.等离子体发展历程： 1745年莱顿瓶：最原始的电容器。用于储积大量电荷并获得高的静电电位。 1750年本杰明·富兰克林证实了电的单流体理论。并同时证实了闪电是电的一种形式，并引入了正负极的概念。他发明了避雷针，因而避免了许多财富和人命的不必要的损失。 1808年法拉第在放电和直流放电管的工作状况的研究。 1906年劳伦兹提出了“电子”术语。在1898年William Erookes引入“电离”，用来描述中性原子被击碎形成电子和离子。 基于真空系统的发展： 1862年真空泵（~10-3Torr）的发明。 1905年水银旋转泵（~10-5Torr）(1atm=760Torr=101325Pa)。 1928年等离子体的定义和研究（汤姆斯和朗缪尔）。 1929年德拜长度（描述等离子体的存在条件）。 1935年旋转油力泵。1955年油扩散泵。1965年涡轮分子泵。 由于真空系统的发展和能量的给予方式的不断进步，目前等离子体应用极广。 二.等离子体的定义： 指电离气体。是由电子离子原子分子和自由基等粒子组成的集合体。其中电子和离子数相等，对外表现为电中性。 三.等离子体的产生方式 1.电场加速电子：直流