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目 录
1 MSAMSA基本概念基本概念
2 测量误差的种类测量误差的种类
3 为什么进行为什么进行MSAMSA
4 计量型测量系统分析计量型测量系统分析
5 计数型测量系统分析计数型测量系统分析
Page 2
1 测量系统分析－概述
• 我希望能更了解我的制程，该怎么做呢？
• 测量你的过程测量你的过程，分析得到的数据分析得到的数据，没有别的选择没有别的选择。
• 但是….如果测量得到的数据有误呢？我们可能因此
做出错误的决定做出错误的决定。。。
• 好问题，让我来告诉你。
结果可能徒劳结果可能徒劳 ！
Page 3
1.1 测量系统定义
用来对被测特性赋值的操作用来对被测特性赋值的操作、程序程序、量具量具、
设备、软件以及操作人员的集合，用来获得
测量结果的整个过程测量结果的整个过程。
Page 4
1.2 测量系统模型
被测件
被测量的项目被测量的项目 操作者操作者 测量过程测量过程 仪器仪器 测量结果测量结果
(输入) (输出)
程序
环境环境
Page 5
1.3 测量误差
YY xx ++ εε
测量值测量值 真值真值(True(True Value)Value) ++测量误差测量误差
戴明说没有真戴明说没有真
一致致
值的存在
Page 6
1.4 测量系统变差源
所有变异源的影响
变异源变异源SWIPESWIPE 通常称为测量系统通常称为测量系统
标准S 工件W 仪器I 变差
测量系统变差
人P 环境E
Page 7
1.5 测量系统变异
实际值 测量值
实际值
量测系统
实际产品变异 量测变异 观察到的产品变异
长期产品变动 量检具造成的变异
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