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数字全息显微术中Zernike表面拟合的相位畸变-西安理工大学学报
西安理工大学学报 ’ （ ）
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＸｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ ２０１７ Ｖｏｌ．３３Ｎｏ．２ １９３
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ＤＯＩ１０．１９３２２ ．ｃｎｋｉ．ｉｓｓｎ．１００６４７１０．２０１７．０２．０１２
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数字全息显微术中Ｚｅｒｎｉｋｅ表面拟合的
相位畸变自动补偿
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刘 芸 焦明星 邢俊红 刘健宁
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西安理工大学 机械与精密仪器工程学院 陕西 西安 ７１００４８
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摘要 数字全息显微技术被广泛应用于微结构样本的三维轮廓测量 然而 显微光路中离轴引入的
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一次相位畸变和显微物镜引入的二次相位畸变 会使再现像相位出现倾斜和弯曲 无法获得样本的
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正确三维信息 本文提出了一种 Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式表面拟合的再现像相位畸变补偿方法 将高空间
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频率分布的薄样本看作是叠加在整个相位畸变上的一个小的扰动 通过 Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式对整个相
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位表面的拟合 消除了倾斜 离焦 像散 彗差和球差的影响 实现了再现像相位畸变的自动补偿
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该方法只需一幅全息图 就可以补偿多项初级像差 执行简单 速度快 以相位光栅为样本 实验验
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证了该方法的可行性 获得了光栅的正确三维形貌
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关键词 数字全息显微 相位畸变补偿 表面拟合法 Ｚｅｒｎｉｋｅ多项式拟合
中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ）
ＴＢ９６ Ａ １００６４７１０２０１７０２０１９３０６
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