2019年度国家科学技术奖技术发明奖提名公示内容.PDFVIP

2019年度国家科学技术奖技术发明奖提名公示内容 一、项目名称 电子制造机械高速精密运动优化控制关键技术、核心部件与典型装备 二、提名意见 该项目围绕电子制造机械高速精密运动优化控制的关键技术、核心部件与典 型装备开展攻关，发明了高速宏微复合绝对光栅尺新原理，解决了非均匀绝对编 码栅格信号难以快速高精度细分、高速精密测量中速度与精度难以兼顾等行业共 性技术难题；发明了多点运动规划新方法，突破每个启动点均按静止、每个运动 段对称加速的传统方法局限，解决了多目标点高速精密急启急停定位难题；发明 了系列新型宏微复合运动平台及其模组优化方法，解决了大行程亚微米级快速精 密定位及提升平台加速性能等难题。系列发明突破了“高速运动急启急停时测不 准、停不稳、效率低”等重大技术瓶颈，研制的系列高速精密绝对光栅尺、运动 模组等基础部件和一批点位操作装备，主要技术指标达到或优于国际知名产品， 并实现了产业化，经济社会效益显著。成果打破了西方垄断，对推动电子制造装 备跨越发展起到了重要的引领与支撑作用。 提名该项目为国家技术发明奖二等奖。 三、项目简介 电子制造业是我国支柱产业，国际竞争激烈，项目实施前，高端电子制造装 备与核心零部件依赖进口、受制于人，严重威胁国家经济及国防安全。