容胶一凝胶法制备铁电薄膜的研究.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 容胶 一 凝胶法制备 二 一二 铁 电薄膜 的研 究 王 , , 王 , , 静 , 兰 艳梅 伟 杨 彩 琴 刘 明登 河 北 医 科 大 学药学院 , 石 家庄 广 西 师 范大 学化 学 系, 桂 林 一 二 一 二 摘 要 介绍 了 法制备 铁 电薄膜 的工艺参数 在溶胶 中加入 一 定体 积百分含量 的干燥化学控制添加剂 可有效 的防止薄膜开裂 通过 、 谱 图、 、 一 回线 一 曲线等测试方法 比较 了金属醇盐法和 以部分醋酸盐代替醇盐法制备薄膜 观 和 , 通 过 两 的微 结构 性能 实验结果表 明 全部采用醇盐为原料制备 的 薄膜性能较好 种方法制备 薄膜性能 的差异 , 本文提 出了这两种方法 的成膜机理 一 二 一 二 关 键 词 溶胶 凝胶法 , , 铁 电 膜 薄 中图分类号 文献标识 码 引言 以它 良的压 、 释 、 越 人 注 , 一 铁 电薄膜 优 电 热 电 铁 电等性 能 来越 引起 们 的关 是新 代大规模 集成 电路铁 电存储器和 热释 电红 外探测器 热像仪 的重要 材料 , 】溶胶 一 凝胶法是 近 年来倍 受青睐 的材料制备技术 , 它 的突 出优 点是 材料各元 素组 成 的化 学计量 比容 易控 一 、 、 制 , 各原料液在溶胶 凝胶体 系 中可达分子级 的接触 , 材料粒度小 纯度高 均 匀性好 溶 一 胶 凝胶法 常用 的原料是醇盐 , 此 外, 也