电子枪和离子源.PDF

电子枪和离子源 西安交通大学 康永锋 提纲 n 聚焦细束电子枪概述 Ø电子枪是所有电子光学仪器、装置和器件的必要部件，其作用是形成具有一定的 电子能量的聚焦电子束。 Ø这一电子束有时用作为电子图像仪器的 “照明”电子源，而有时用作为一个 “点源” 形成细聚焦电子束探针。 Ø聚焦细束电子 （离子）枪，主要涉及加速电位较高，并具有高分辨率的电子光学 系统的电子枪。 Ø通常其 （电子或离子）束电流不是很大，空间电荷不起主要作用。 一、 聚焦细束电子枪的电子光学功能 1.1 电子枪的构成： 通常由――阴极 （加热热子），聚焦电极，阳极三个电极组成一个浸没物镜 。 （场发射电子枪常常没有聚焦电极）。 有的电子枪再浸没物镜以后还有一个附加电子透镜，多数情况是使用电透镜 ，特殊情况也使用磁透镜。 1.2 电子枪的功能： （阴极）发射电子；加热热丝和阴极电子发射体。直热式，间热式。 （阳极）形成电子枪的电场，对电子加速；圆孔膜片。 （聚焦电极）电子聚焦成束 （形成虚源或交叉截面）；调节电子束电流强度。 圆孔膜片。 二