第5章 压电式传感器..ppt

1 在车床中用于动态切削力的测量 当压电晶体片受力时，在晶体片的两表面上聚集等量的正、负电荷，晶体片的两表面相当于一个电容器的两个极板，两极板间的物质（压电材料）等效于一种介质，因此压电传感器可以看做一个电荷发生器，同时也是一个电容器。其电容量为 S——极板面积（压电片面积）； h ——压电片厚度； ?r——压电材料的相对介电常数； ?0 ——真空介电常数。 一、压电式传感器的等效电路 5.4 压电式传感器的信号调理电路 对此式可用两种电路来等效压电式传感器： 电压等效电路：一个电压源与一个电容Ca串联构成，此电路输出为 电压源 两极板间的开路电压为 只有在外电路负载无穷大，且内部无漏电时，受力产生的电压U才能长期保持不变；如果负载不是无穷大，则电路就要以时间常数RLCa按指数规律放电。 电荷等效电路：电荷源与一个电容Ca并联构成，此电路输出为 此时，该电路被视为一个电荷发生器。 电荷源 压电传感器在实际使用时要与测量仪器或测量电路相连接，因此还必须考虑连接电缆的等效电容Cc ，放大器的输入电阻Ri 和输入电容Ci ，以及压电式传感器的泄漏电阻Ra ，这样压电式传感器在测量系统中的等效电路就应如图所示。 压电式传感器的灵敏度有两种表示方式： 电压灵敏度：Ku = U／F，它表示单位力所产生的电压； 电荷灵敏度：Kq = Q／F，它表示单位力所产生的电荷。 它们之间的关系是 电压源等效电路 电荷源等效电路 二、压电式传感器的信号调理电路 压电元件实际上可以等效为一个电容器，因此，它也存在着与电容传感器相同的问题，即具有高内阻（Ra≥1010Ω）和小功率的问题，对于这些问题可以使用转换电路来解决。 为了保证压电传感器的测量误差小到一定程度，则要求负载电阻RL 要大到一定数值，才能使晶体片上的漏电流相应变小，因此在压电传感器输出端要接入一个输入阻抗很高的前置放大器，然后再接入一般的放大器。其目的：一是将它的高阻抗输出变换成低阻抗输出，二是放大传感器输出的微弱信号。 根据前面的等效电路，压电传感器的输出可以是电压，也可以是电荷，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和电荷放大器。 优点：压电转换元件具有自发和可逆两种重要性能，体积小、重量轻、结构简单、工作可靠、固有频率高、灵敏度和信噪比高，特别适合于动态测量。 缺点：无静态输出，要求有很高的电输出阻抗，需用低电容的低噪声电缆，很多压电材料的工作温度在250 ℃左右。 5.5 压电式传感器的应用 广义地讲，凡是利用压电材料各种物理效应构成的各种传感器，都可称为压电式传感器，它们已被广泛地应用在工业、军事和民用等领域。 利用正压电效应：在测试技术中，压电转换元件是一种典型的力敏元件，能测量最终可变换为力的有关物理量，例如压力、位移、加速度、机械冲击和振动等，因此在声学、力学、医学和宇航等广阔领域中都可见到压电式传感器的应用。 压电电源（煤气灶和汽车发动机的自动点火装置等电压发生器）。 利用逆压电效应：可制成多种超声波发生器和压电扬声器等。 超声振子 超声清洗机 超声焊接机 超声波加湿器 超声振子 压电扬声器 超声波测距 利用正、逆压电效应还可制成晶振、压电陀螺、压电线性加速度计、压电变压器、声纳和压电声表面波器件等。 声纳 晶振 压电陀螺 一、压电式加速度传感器 二、压电式测力传感器 三、微重力压电晶体生物传感器 四、医用电子鼻 五、汽车安全气囊系统 六、压电引信 七、高分子压电电缆在交通监测中的应用 一、压电式加速度传感器 用于测量加速度的传感器种类很多，压电式加速度传感器是一种最常用的加速度计（80％以上）。具有一系列优点：体积小，重量轻，坚实牢固，有较好的频率响应（几千赫～几十千赫），如果配以电荷放大器，低频响应也很好（可低至零点几赫），测量范围大（加速度为10-5~10-4 g，g 为重力加速度 9.8m／s2）等。 因为 F = ma （m 为重块质量，a 为加速度），当传感器选定后，m为常数，所以传感器输出电荷为 Q 与加速度 a 成正比。 因为，压电传感器的输出电压为 ，若传感器中电容量 C 不变，那么 ，因此，可以用电压值表示测量的加速度。 压电元件（一般由两片压电晶片并联）置于基座上，其上面加一块比重较大的质量块，质量