计算全息图检测大口径凹非球面系统的研究-维普.PDF

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计算全息图检测大口径凹非球面系统的研究-维普

维普资讯 第36卷第3期 红外与激光工程 2007年 6月 VO1.36No.3 InfiaredandLaserEngineering Jun.20o7 计算全息图检测大口径凹非球面系统的研究 刘 华,卢振武,李凤有 ,张红鑫 (中科 院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验 室,吉林 长春 130022) 摘 要:根据圆形计算全息图的衍射特性 ,将 曲面圆形计算全息图与补偿镜相结合,应用于凹非 球面折射式零检测光学系统中。与传统的折射式零检测光学系统相 比,该系统不仅可以简化光学系统 的装调过程 ,还可以降低计算全息图与补偿镜 的制作精度,减少制作成本。阐述 了利用曲面计算全息 图衍射特性的折射式零检测光学系统检测凹非球面的基本原理 ,给 出了具体的设计实例 。对于 口径为 950nlln的抛 物 面 ,检测 结果 P— 值 为 0.024A。 关键词:光学设计 ; 非球面检测; 计算全息图 中图分类号 :TN247 文献标识码:A 文章编号 :1007-2276(2007)03—0312—04 CGH testingforlargeconcavesurface LIU Hua,LU Zhen—WU,LIFeng—you,ZHANG Hong—xin (StateKeyLaboratoryofAppliedOptics,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics ChineseAcademyofScience,Chnagchun130022,China) Abstract:Forthelargeconcavesurface,htetraditionaltestingmehtodisnulltestsbyusingrefractive compensator.However,notonly itisdifficultto aJjgIlhte optical elementsofhte system ,butalso itis expensive to fabricatehtem.In thispaperhteCGH fabricatedon htecompensatorlenssurfacewhich is utifized ni system to substitute hte rtaditional compensator is discussed,and hte practical optical praametersraegiven.Forhtesma plesurfacewiht hteapertureof950nlln.testingresultofP—Vis0.024A. Keywords:Optical design; Aspherical—surfacetesting; Computer-generatedhologrma s 0 引 言 作精度很高,而且在装调过程中相对位置也要非常精 确,稍有偏差就会对检测结果造成很大影响。Hubble望 随着应用光学的不断发展 ,非球面被越来越广泛 远镜就是因为检测时补偿镜的位置有误差,导致抛光 地应用于光学系统中。无论是天文研究,还是在军事及 过程中主镜的二次项系数有误,造成了巨大的损失。因 航天领域中,越来越多地需要用到反射光学系统。这些

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