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平行密封型缝阀-SMC中国
对应300mm晶片
平行密封型缝阀
RoHS
长寿命 300万次(常温时) 发尘量 减少1/5以下(与以前型号相比)
维护性 安全对策
可更换波纹管 采用机械式端锁机构
可通过顶部拆装门(订制) 紧急停止时，可保持开门或关门状态。
省气 订制 轻量
耗气量减少22% 14kg(盒式时)
通常动作 无逆压 时，可进行低压动作。
( )
使用环境压力 开口窗尺寸 50mm ×336mm
大气压~1.0 ×10--6 Pa(abs)
密封材质：
®4079
FKM/Kalrez
※Kalrez® 是美国Dupont
公司、 股份有
Dupont(
限公司 或关联公司的
)
注册商标。
嵌入式 无盒
( )
传送腔室
盒式标准盒
( )
工艺腔室
平行密封型缝阀
可与以前型号机体互换
适用于半导体装置等的负载锁定室和传送腔
室及传送腔室和工艺腔室之间的隔离阀。
XGTP 系列
CAT.CS1
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