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并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
２５ ７
Vol．２５ No．７
O ticsandPrecisionEnineerin
年 月 p g g
２０１７ ７ Jul．２０１７
文章编号 ( )
１００４Ｇ９２４X２０１７０７Ｇ１８７４Ｇ０８
并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量
, ,
１３ １∗ ２ １３ ４
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齐克奇 向 阳 丁亚林 方 超 周振平
( , , ;
１．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 吉林 长春１３００３３
, ,
２．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院航空光学成像与测量重点实验室
; , ;
吉林 长春１３００３３ ３．中国科学院大学 北京 １０００４９
, )
４．吉林大学 机械科学与工程学院 吉林 长春 １３００２２
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摘要 针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题 本文设计了一种结构紧凑 具有高分辨率和高
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刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台 该平台采用了 个对称布置的嵌套式平行导向机构 使得平台具有刚度对
４
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称和自解耦等特点 本文还对嵌套式平行导向机构的工作原理进行了分析 通过有限元方法仿真分析了微位移平台在
, . , ,
不同受力状态下的变形情况 并对其进行了模态分析 经实验测量 证实了该平台具有自解耦功能 并得出了微位移平
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台的实际行程 且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度
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关 键 词 并联式 自解耦 微位移平台 嵌套式平行导向机构 有限元方法
中图分类号: 文献标识码: : /
TH１１２．５ A doi１０．３７８８OPE１８７４
Develomentandmeasurementofa ara
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