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目 录
第一章 绪论……………………………………………………．．．………………………………………………l
1．1研究背景及意义…………………………………………………………………l
1．2碳纳米管的结构、性能与制备…………………………………………………l
1．2．1碳纳米管的结构……………………………………………………………2
1．2．2碳纳米管的性能…………………………………………………………．．4
1．2．3碳纳米管的制备…………………………………………………………．．5
1．3碳纳米管互连模拟的国内外研究现状…………………………………………6
1．4本文研究内容……………………………………………………………………8
第二章信号完整性和串扰机理分析……………。 9
2．1信号完整性问题…………………………………………………………………。9
2．2串扰产生的原因及其分类………………………………………………………1l
2．2．1近端串扰和远端串扰……………………………………………………12
2．2．2容性串扰和感性串扰……………………………………………………．13
2．3传输模式对串扰信号的影响………………………………………………………16
2．4本章小结………………………………………………………………………．18
第三章单壁碳纳米管互连线串扰的分析……。 19
3．1单壁碳纳米管电参数…………………………………………………………．19
3．1．1电阻……………………………………………………………………………………………．．20
3．1．2电容……………………………………………………………………………………………．21
3．1．3电感……………………………一……………………………………………………………22
3．2单壁碳纳米管束电参数………………………………………………………．22
3．2．1等效电路模型及其参数…………………………………………………23
3．2．2磁性电感的提取……………………………………………………………．24
3．3铜互连线模型………………………………………………………………………27
3．4单壁碳纳米管束互连线串扰仿真分析…………………………………………29
3．5单壁碳纳米管束与铜互连线串扰的比较…一…………………………………33
3．6本章小结…………………………………………………………………………。35
第四章双壁碳纳米管互连线串扰的分析……一…………………………………………………．．36
4．1双壁碳纳米管电参数…………………………………………………………．36
4．1．1电阻……………………………………………………………………………………………．．37
4．1．2电容……………………………………………………………………………………………。37
4．1．3电感……………………………………………………………………………………………．．37
4．2双壁碳纳米管束电参数………………………………………………………．38
4．2．1等效电路模型……………………………………………………………38
4．2．2串扰模型…………………………………………………………………．．40
4．3双壁碳纳米管束互连线串扰仿真分析………………………………………．41
4．4双壁碳纳米管束与铜互连线串扰的比较……………………………………．44
4．5本章小结………………………………………………………………………一46
第五章总结与展望………………………………………………………………………………………．．47
参考文献………
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