用于大尺寸光学玻璃光学均匀性检测的干涉仪-光学精密工程.PDF

第 6 卷　第 3 期 光学　精密工程 . 6, . 3 V o l N o 1998 年 6 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G J un e, 1998 用于大尺寸光学玻璃光学 均匀性检测的干涉仪 侯慧英 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所　　长春 130022) 　　摘要　探讨了大尺寸高质量光学玻璃均匀性的几种检测方法。重点讨论了本所研 制的刀口干涉仪。其优点是结构简单、装调容易、使用方便、便于判读、可 目视和拍照或 摄像及计算机分析处理数据, 可把阴影法的高灵敏度和干涉法的高精度相结合, 而且被 检测的光学玻璃尺寸不受限制。 关键词　　大尺寸光学玻璃　均匀性检测　干涉仪 1　引　　言 　　众所周知, 光学仪器分辨率的高低, 在很大程度上取决于所用光学材料的均匀程度。光学 均匀性的定量测定在大部分光学研究领域和各种光学仪器的设计中都是十分重要的。近年来, 对大尺寸高均匀度玻璃的要求越来越多, 空间光学的迅速发展, 使这一要求成为现实问题。如 卫星用 像机, 其检测装置中的平行光管、干涉仪等主要光学件, 直径都在 400 以上, 最 CCD mm 大毛坯直径已达 720 , 并要求其折射率不均匀性 n 不大于 2 ×10- 6。口径之大, 精度之高 mm 是前所未有的。国内已有的玻璃检测方法都无法满足这一要求。因此, 探讨和建立新的定量测 定方法势在必行。 2　大尺寸光学玻璃光学均匀性检测干涉仪 　　从理论上, 国内外高精度确定光程差普遍采用的方法, 只有干涉法。我们要探讨的是能够 实现大尺寸初加工玻璃毛坯的光学均匀性的检测方法。 收稿 日期: 1997- 12- 29 修稿 日期: 1998- 04- 02 90 光学　精密工程 6 卷 2 1　斐佐干涉仪 斐佐干涉仪常用于检验平板玻璃和平面的表面面形。由于大的平面标准样板制备困难, 通 [ 1 ] [2 ] 常口径只做到 150 。国外 750 直径的斐佐干涉仪早已被研制出 。已研制出的各种 mm mm 型号的斐佐干涉仪通常为立式的, 更适合于光学零件的成品检验。这时, 标准平面可采用水油、 水银等, 既可解决标准平面镜加工的困难, 又可做成很大尺寸。这种情况要解决的问题是震动、 灰尘颗粒、蒸发、温度差、静电电荷、磁场、被检平板的重力变形和温度变化的干扰。 检验玻璃毛坯的光学均匀性, 样品尺寸大、工作面只能细磨、采用贴置玻璃的办法。这时重 力的影响将是不可忽略的, 工作也不方便。 长春光机所研制了多种形式的斐佐干涉仪, 其中口径最大的为立式的、液面作标准面的、 直径达 200 。上海光机所生产的激光平面干涉仪口径达 140 。 mm mm 2 2　多光束球面干涉仪[2 ] 多光束干涉仪是由陶兰斯库检验平面时发展并做出了突出的贡献。干涉条纹的锐度由多 光束装置产生。 多光束球面干涉仪是斐佐平面干涉仪的发展。可用于无接触检验, 球面曲率半径大于 130 , 口径半径比小于 1 ∶2 5 的镀铝凹面反射镜加辅助的标准球面或平