半导体洁净厂房节能分析及对策.pptVIP

半导体洁净厂房的节能分析与对策 部门：***** 姓名：*** 时间：年月日 前言 集成电路洁净厂房的建设成本： 100级(0.3um)净化间造价在3000USD/m2。 ****厂房的运转成本： 每年消耗的水费、电费、蒸汽费、冷冻水等的费用在3000万元以上，平均每平方米12000元。 半导体洁净厂房空调系统的特点 温湿设定点恒定，控制精度高： T=23±2℃、RH=45±5% C/R的换气次数每小时在200次以上，循环风量为1460000m3/h。 新风补充量很大：90000 m3/h 以上就是造成净化间耗能巨大的原因！ ****的耗电量分布图 图1 所以我们重点从“如何降低新风处理所消耗的能源”来进行分析！ 冷冻空调系统能耗分布情况 类 别 每小时费用 所占比例 新风处理 1500元 60% 循环风处理 1000元 40% 总 计 2500元 OA OA P = 10Pa RAP t = 24 C P = 15Pa FAB t = 23 C P = 130Pa SAP t = 22.5 C RA SHAFT RA SHAFT AHU AHU 18℃ 60%RH 前工序净化间空调系统 B A D C C C/R Exhaust 净化间热负荷计算（1） 表1 状态点 A B C D 温度（℃） 22.5 23