第6章 电子束离子束加工.pptVIP

6.1?? 电子束加工 一、电子束加工的原理和特点 二、电子束加工装置 三、电子束加工的应用 一、电子束加工原理 电子束加工分类 通过控制电子束能量密度的大小和能量注入时间，就可以达到不同的加工目的。 电子束打孔、切割等加工：高电子束能能量密度，使材料融化和气化，就可以进行； 电子束焊接：使材料局部融化就可以进行； 电子束热处理：只使材料局部加热就可以进行； 电子束光刻加工：利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行。 二、电子束加工装置 电子枪 用途： 发射高速电子流 电子束的预聚焦 电子束的强度控制 组成 电子发射阴极（纯钨或纯钽） 控制栅极 加速阳极 真空系统 抽真空的目的 保证电子高速运动 去除金属蒸汽 减小表面污染 作用原理 机械泵(初级)：真空室抽至1.4~0.14Pa 扩散泵或涡轮分子泵(二级)：抽至0.014~0.00014Pa的高真空度 控制系统 束流强度控制 (7) 束流聚焦控制 (8) 束流位置控制 (9) 工作台的位移控制 (1) 三、电子束加工的应用 电子束加工的分类 功率密度对加工模式的影响 电子束加工的应用范围 应用例 （1）高速打孔 （2）加工异型孔或特殊表面 （3）焊接 （4）表面改性/热处理 （5）电子束光刻 电子束加工的分类 热型（热效应） 局部加热至熔化或气化点进行加工 打孔 切割 焊接 非热型（化学效应） 利用电子束的化学效应进行刻蚀 刻蚀 功率密度对加工模式的影响 电子束加工的应用范围 （1）高速打孔 特点 能打各种孔（最小φ3μm ） 生产效率高 可加工各种材料 实际应用 各种金属零件上打孔(3000个/秒) 人造革上打孔(透气性，5000个/秒) 在脆性材料上打孔 脆性材料上打孔 （2）加工异型孔 喷丝头异型孔的加工 过滤网 加工曲面和弯孔 可在钢板上加工锥孔（如1mm厚的钢板，φ0.13mm的锥孔，每秒可打400孔；3mm厚时，φ1mm的锥形孔，每秒可打20孔。） 可加工斜孔。 可以加工各种直的型孔和型面，也可以加工弯孔和曲面。 （3）焊接 电子束焊接是利用电子束作为热源的一种焊接工艺。 当高能量密度的电子束轰击焊件表面时，使焊件接头处的金属熔融，在电子束连续不断的轰击下，形成一个被熔融金属环绕的毛细管状的熔池，如焊件沿接缝与电子束作相对移动，则接缝上的熔池重新凝固，使焊件的整个接缝形成焊缝。 焊接功率与焊缝深度的关系 焊接特点 焊缝深而窄 热影响区小，变形小 不产生新的污染，焊接强度高 焊接加工样件 （4）表面改性/热处理 加热冷却速度快，获得超细晶粒和很高的表面硬度。 热转化效率高，可达90％，而激光的转换效率只有7％－10％。 可实现合金化 （5）电子束光刻 电子束光刻是先利用低功率密度的电子束照射称为电致抗蚀剂的高分子材料，由入射电子与高分子相碰撞，使分子的链被切断或重新聚合而引起分子量的变化，这一步骤称为电子束曝光。若按规定图形进行电子束曝光，就会在电致抗蚀剂中留下潜像。 电子束曝光加工过程 电子束扫描曝光系统 电子束投影曝光 电子束光刻应用 6.2?? 离子束加工 一、离子束加工的原理、分类和特点 二、离子束加工装置 三、离子束加工的应用 一、离子束加工的原理、分类和特点 （1）离子束加工的原理和物理基础 （2）离子束加工的分类 （3）离子束加工的特点 （1）离子束加工的原理和物理基础 加工原理： 与电子束基本相似，在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，使之撞到工件表面。不同的是离子束带正电荷，其质量比电子大数千、数万倍，一经加速，它将具有比电子束大的多的冲击动能。在加工时，它是靠微观的机械撞击能量，而不是靠动能转化为热能来加工的。 离子束加工原理 离子碰撞过程 离子束加工的物理基础 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。 撞击效应和溅射效应：具有一定动能的离子斜射到工件材料（或靶材）表面时，可以将表面的原子撞击出来。 离子注入效应：当离子能量足够大并垂直工件表面撞击时，离子会钻进工件表面。 （2）离子束加工的分类 a）?离子刻蚀 b）?离子溅射沉积 c）?离子镀 d）?离子注入 离子刻蚀 用能量为0.5－5keV的氩离子轰击工件，将工件表面的原子逐个剥离。其实质是一种原子尺度的切削加工，所以又称离子铣削。 离子溅射沉积 采用能量为0.5－5keV的氩离子，轰击某种材料制成的靶，离子 将靶材原子击出，沉积在靶材附近的工件上，使工件表面镀上 一层薄膜。所以实质上溅射沉积是一种镀膜工艺。 离子镀 也称离子溅射辅助沉积，是用0.5－5keV的氩离子，在