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晶圆处理工程用语 D．1 基本、共同用语 编号 用语（英文/中文） 用 语 说 明 D1001 unloader 卸载机、卸货机 是将被加工对象（work）从所定位置取出之机构 D1002 Indexer 指针器，索引器 是指发送机（sender）与接收机（receiver）之总称。在处理之前后，亦有使用同一匣盒使遮光罩(mask),晶圆等基板收纳位置不会变化之单面匣式（uni-cassette）方式。 D1003 Wafer automatic transfer system 晶圆自动传送系统 是指将晶圆每次一片或每次多片，从匣盒自动转移至各处理装置之装置。此一装置是由匣盒载物台(cassette stage)、晶圆搬运机器人，以及该接口所构成，大都与匣盒搬运机械人搭配使用。 D1004 Wafer hoist 晶圆交接升降装置 系指有关晶圆输送机构之晶圆交接升降机构。大都与附属在输送机构先端之晶圆承接臂成对搭配使用，位在交接之制程位置，由晶圆承接部分与驱动该部分之上下机构所组成。 D1005 Wafer holder 晶圆保持器 系指有关形成薄膜之半导体制造装置，在各种处理或晶圆输送时，用来保持晶圆之装置部分。 D1006 X-Y stage/X-Y table 从横移动载物台/从横移动载物盘 是指可将被加工对象(work)加以从横方向移动，且可决定其精确位置之机构。 D1007 material safety data sheet 材料安全数据清单 MSDS 是指记录化学物质之物性、毒性、可燃性，反应性及处理方法之安全性数据清单。为确保使用瓦斯或药品处理装置在操作时之安全为目的，通常与使用说明书等附加在一起。 D1008 Orientation flat arrange equipment 晶圆定向平面摆齐装置 是指将匣盒内晶圆之定向平面加以摆齐在一个方向之装置。为要检查晶圆转移传送是否确实，或为要使晶圆在各处理装置内之定向决定，能顺利所使用之装置。 D1009 cassette / magazine 晶圆匣盒/晶圆收纳盒 是指将晶圆被加工对象整齐加以收纳之装置。为使晶圆加工对象在各制程上能容易进行搭载及卸在载为目的，所使用之匣盒。类同之用语有magazine一语。 D1010 cassette-to-cassette handling 匣盒间转运处理 系指从供给侧晶圆匣盒，将晶圆每次一片自动加以取出，输送至处理室处理后，将晶圆逐片收纳在收纳侧晶圆匣盒之处理方式。 D1011 Availability 利用度，利用率 系指针对计划运输时间，实际可正常运输时间之比率。 D1012 Substrate 基板,基片 是指成为处理对象之空白遮光罩(mask blank),晶圆等材料总称. 编号 用语（英文/中文） 用 语 说 明 D1013 Carrier box 运载盒 指为要输送或保管晶圆之容器.在制造过程上务必保持晶圆不至受到容器排放瓦斯之污染,输送盒材质之鉴定至为重要.目前,输送盒以使用聚丙稀(polypropylene)树脂及聚碳酸脂(polycarbonate)的树脂为主. D1014 Cluster tool 组合设备公具 指将不同装置厂家之设备或不同制程之结合,或能将半导体装置制造商独特之制造模块，加以装配之多加工室（multichamber）制造装置。是以美国半导体制造装置厂家为中心之团体MESA(Modular Equipment Standard Architecture)所提倡者。 D1015 Pre-purge 是指要使用热处理炉、反应室或瓦斯配管系统之前，将纯性瓦斯引进加以净化之操作。 D1016 Cost of ownership 是将半导体制造相关设备之投资，或将营运之经济性评价基准，以经营位皆加以模型化者。将制造装置之寿命周期成本（life cycle cost）,以装置价格、生产性、可靠性及成品率等加以考量，而算出每一晶圆良品成本之方法。 D1017 Magnetic coupled feedthrough 磁耦合旋转馈通 是指利用N极S极之磁性结合力，将外旋转驱动力传达到真空气氛内之旋转机构。是一种非接触旋转，因多半在真空与大气间隔着一道墙壁之构造，其真空密封寿命为无限大，对超高真空性能之维持很有效。 D1018 Magnetic levitation transfer 磁悬浮输送 是指利用磁性反斥力之非接触性输送机构。是由控制磁悬浮之控制电磁铁、线性马达及悬浮体等所构成，例如遮光罩或晶圆等之基片搭载在悬浮体上来移动。在真空中使用时，因属非接触，无振动、无润滑油及全然不产生灰尘，具有可获得洁净真空等大特点。 D1019 Robot for using in vacuum 真空机械