《电子束熔融法多晶硅提纯技术的研究-常方高》-课件设计（公开）.pptVIP

重点实验室（河南师范大学）主体位于物理南楼，中试基地设在与河南师范大学河南新乡华丹硅材料有限责任公司。 多晶硅提纯关键技术与工艺研究； 硅基薄膜太阳能电池材料关键技术与应用研究； 非硅基太阳能光伏材料与技术研究 染料敏化电池、多晶硅薄膜电池等新型光伏材料结构设计及数值模拟 光伏并网发电技术与应用的研究 一、研究背景 09年的金融海啸给我国多晶硅产业致命的打击，多晶硅现货价格从400多美元/公斤的高位快速滑落，到近期已跌至50至60美元/公斤，市场需求也同时一落千丈。这导致国内多晶硅企业面临严峻挑战。 随着价格下降，化学法多晶硅利润越来越少。目前中国的化学法多晶硅的成本比国外普遍高出近一倍。国外厂家有可观的利润，而国内化学法的厂家将无法生存。 物理法多晶硅具有的成本低、无污染的优势，是国外的西门子法的最有力的竞争者。因此，不少新的投资者，包括一些化学法多晶硅的投资者，也将目光转向了物理法。 第六届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 由于太阳能级多晶硅(6N)在技术指标上远远低于半导体级多晶硅(9N)，目前广泛应用的半导体级多晶硅制备技术“改良西门子法”技术路线长、投资、能耗巨大。在市场的刺激下，一批新型的太阳能级多晶硅制备技术成为业界关注的焦点。 上海普罗新能源有限公司也称采用100%物理法多晶硅料制成的单晶硅太阳能电池，转换效率已达17%。 江西赛维宣布已经与德国Q-CELL公司签订了总量为2万吨的硅片加工合同，这些硅片的材料，全部是冶金法生产的。 一、研究背景----国外 08年12月份，在上海举行的《2008国际太阳级多晶硅会议》上，西门子公司的代表提供的数据中，化学法提纯多晶硅占99%，冶金法占1%。 日本一家公司在04年宣布用电子束和离子束等方法开始批量的生产。 挪威的Elkem公司07年也宣布用“物理法”方法来提纯多晶硅。 美国的道康宁公司也宣布了成功用冶金法提纯多晶硅，该公司将这种UMG以10%的比例与化学法制成的多晶硅掺在一起混合拉晶硅。 08年11月，又有两家美国公司先后宣布，用冶金法多晶硅生产出了太阳能电池。一家是位于加利福尼亚州的CaliSolar，另一家是Blue Square Energy。两家公司的冶金法多晶硅电池片转换效率均超过了14%…… 种种的迹象表明，价廉环保的冶金法太阳能多晶硅越来越受到社会的认可，技术工艺逐渐成熟。 二、工作进展 电子束熔融法多晶硅提纯技术研究 实验原理：利用熔融状态的离子有定向扩散现象的这一原理，电弧炉的电子束温度能达到3000℃，我们采用电弧炉产生的电子束来速熔工业级硅，多次熔融并控制电弧炉的功率已达到控制熔融硅的凝固来对多晶硅进行提纯研究。 在多晶硅的杂质中，有金属离子和非金属离子两大类。对非金属离子可采用通入些能与其发生反应生成气体的气体的形式来达到除去这类杂质的目的；对金属离子可采用速融加定向凝固的方法来达到提纯的效果。 使用仪器—真空电弧炉 多晶硅提纯技术研究：多晶硅中杂质的检测方法：用ICP-AES，采用标准液定标来检测用电子束熔融多晶硅的效果。 电子束熔融法多晶硅提纯技术研究 电子束熔炼是将高速电子束的动能转变为热能来加热炉料的； 电子束熔炼的特点：真空度高，熔体的过热度大，维持液态时间长，利于去气和挥发杂质。 影响熔炼质量的因素：比电能、熔化速率、电极及结晶器尺寸、熔池形状、真空度及漏气率等。 二、工作进展 采用冷坩锅熔化技术，改进电子束熔融法。从而可以熔化更大的试样。 电子束熔炼时，夹杂物上浮至表面，在熔融的试样顶部形成一层富集层。提出夹杂物尺寸分布的估算方法（EB－EV－极大值）。 实验研究表明：经熔炼后，除去杂质的效果很好： [O]从0.002%降至0.0004%~ 0.0009%，[N] 降至0.004%~ 0.008%，[H]?0.0001%~0.0002%。真空度和温度过高，有用成分的熔损也大。 技术难点：保证在冶炼过程中有高的真空度和提高冶炼的纯度是目前急待解决的问题。 实验目标： 利用高真空电弧炉反复烧结使得多晶硅的纯度达到4-5N。通过注入氩等气体，使硼（B）杂质发生反应，形成可挥发物质，达到去除杂质目的。 优点与不足： 该方法熔炼工艺简单，具有投入小、无污染等优点，成本仅为化学法的1/4—1/3，而一般的半导体器件起码也要求硅的纯度在9N以上）。 三、工作展望 《关于实施金太阳示范工程的通知》中指出，要求受支持项目“采用的光伏组件、控制器、逆变器、蓄电池等主要设备，必须通过国家批准认证机构的认证”。其中，对光伏组件产品的光电转化效率为17%以上，这一要求为光伏设备生产企业指出了一条发展之路。同时也为物理法提纯多晶硅技术的发展设置了障碍。 冶金法低成本的优势将可以极大地降低光伏发