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稀有气体在电子行业的应用
封面故事
COVER STORY 稀 有 气 体
稀有气体在电子行业的应用
—— 气体世界中的贵族
有/ 软黄金气体含量不到地球 气和氙气直接翻译过来,意思就是太 得了好几项诺贝尔奖。此外,他们的
稀大气总量的百分之一,在电子 阳神,新的,懒惰的,隐藏的,陌生的, 发现对于Dimitri Mendeleev 制定元素
制造领域发挥着至关重要的作 这表明出这些元素自被发现起就是难 周期表以及建立现代原子理论也至关
用。这些化学元素在元素周期表的第 以捉摸的。由于它们具备难以被发现 重要。
十八列,其中包括氦气(He ),氖气 的特质(惰性的,无形的,气态的,
(Ne ),氩气(Ar) ,氪气(Kr ),氙气(Xe ) 稀有的 )稀有气体在18 世纪和19 世 属性和应用
和氡气(Rn )。“稀有”代表有别于氧 纪的化学启蒙阶段很长一段时间未被 属性。稀有气体完整的外层电子
气,而“气体中的软黄金”类似于金 发现。事实上,直到1868 年从氦气 层不仅是周期表的组织命名,而且也
属中的贵金属,如金和铂。 在阳光下光谱放电中才第一次识别到 是与这些分子相关的关键性质的物理
稀有气体位于元素周期表的最右 稀有气体。 来源的基础。基本上与电子类似,稀
一列,因为它们的外层完全充满电子。 然而,技术迅速推动了人们的理 有气体通过它们的质量的不同而将它
这使得它们几乎不具备反应性,意味 解过程(图 1)。在早期制冷的研发 们自己与彼此区分开。在这里,我们
着它们在环境条件下是作为气体存 和商业成功的基础上,Carl von Linde 要描述支持电子制造的四个重要性质。
在,稀有气体的独特属性,这使得它 开发了第一台液化空气装置,并在 • 惰性:在稀有气体的性质中最重要
们在电子制造工艺中不可或缺。在本 1895 年获得了专利。在保持商业利益 的是它们对化学反应的惰性。这就
文中我们将揭示它们的历史,属性和 的同时,Linde 也意识到了这项技术 是为什么早期的研究人员发现它们
应用,生产和供应链,以及市场。 的科学影响,他将早期的技术原型给 类似贵金属是因为它们在极端条件
予到欧洲的几个主要学术中心。在技 下极少氧化。完整的电子壳意味
历史 术突破的 10 年内,五种稀有气体都 着这些分子已经处于最低的化学能
在把希腊语中的氦气,氖气,氪 被分离并识别出,最终在 1904 年获 势,且不会与其他原子发生反应,
林德技术发现
林德技术发现
1895 - 1898
1784 1868 1904 2016
Henry Cavendish Pierre Janssen Carl von Linde Lord Rayleigh Friedrich Ernst Dorn Dimitri Mendeleev Element 118
发现了空气中氮气以外 Joseph Norman 1895年林德创始人获 Sir William Ramsay 分离并发现了镭发射出 氦,氖,氩,氪,氙和 recognized
的惰性成分 Lockyer 得了第一个液化空气 连续蒸馏空气组分,分 的氡(1898年) 氡组成了新的元素周期 劳伦斯利弗莫尔实验
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