LED管芯制作过程中透明电极表面异常的分析处理方法.docVIP

LED管芯制作过程中透明电极表面异常的分析处理方法 【摘要】本文综合分析了公司LED发光二级管芯片制造 过程中透明电极表面异常产生的成因，控制改进的方法措 施，介绍了公司运用QC质量管理小组方法在分析改进透明 电极表面异常方面的经验教训，供从事LED管芯制造的同仁 借鉴参考。 【关键词】LED发光二级管；芯片；透明电极；表面异 常 1公司背景 由西京电气总公司控股的西安中为光电科技有限公司 主要从事LED外延及芯片产品的研究、开发、生产、销售和 服务。公司依托西安电子科技大学在技术研发方面的优势， 以宽禁带半导体材料与器件重点实验室为技术研发基地，开 展了 GaN基发光二极管的研究和产业化工作。近年来，对高 质量GaN外延材料及管芯制备技术方面进行了深入细致的研 究，关键技术取得了突破性进展，同时产业化工艺技术逐步 成熟，持续改进，生产的紫光、蓝光、绿光LED芯片产品批 量推向市场。公司在管芯制作过程中遇到了因透明电极（以 氧化钮锡简称ITO材料制作的透明电极为例）表面异常造成 的返工率居高不下的问题，因此成立了攻关型QC项目组， 旨在降低ITO表面异常返工率，提高管芯前段产品合格率。 2组成项目组 组成名为中为光电0%QC攻关型项目组，成员由公司的 副总工程师牵头，公司的技术质量生产骨干组成，组内责任 清楚，分工明确。 3选择课题 选择课题（见图l）o 图1管芯前段返工率统计