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集成电路工艺制造 微电子：信息社会发展的基石 自然界和人类社会的一切活动都在产生信息。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍形式，是人类社会、经济活动的重要资源。 社会的各个部分通过网络系统连接成一个整体，由高速大容量光线和通讯卫星群以光速和宽频带地传送信息，从而使社会信息化、网络化和数字化。 实现社会信息化的网络及其关键部件不管是各种计算机和/或通讯机，它们的基础都是微电子。 集成电路的作用 小型化 价格急剧下降 功耗降低 故障率降低 半导体产业发展历史 Moore定律1965年4月，Gorden Moore IC能力随时间按指数规律增长 – 特征尺寸与集成度 – 性能与功能 代的定义为4倍能力， 2年/代至3年/代。来自于： – 特征尺寸：0.7x，意味集成度x2。 – 速度：2x 芯片尺寸：1.5x，意味单芯片面积x2 成本：单位功能成本0.7x/年 单位面积成本大致不变：~$4/cm2 摩尔定律 芯片成本下降 单个芯片成本下降 特征尺寸与晶圆 特征尺寸和技术节点 特征尺寸越来越小 半导体产业发展历史 2007年全球半导体厂商 Top 20 IC器件特征尺寸的极限 原子的大小：几A（10-10米） 需要几个原子组成一个器件 最终极限可能接近100A或0.01微米 越30个硅原子 集成度的发展 单管成本 MOS 晶体管 CMOS工艺 现代CMOS工艺 Intel Pen