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Q/370282LGJK
青岛蓝光晶科新材料有限公司企业标准
Q/370282LGJK 014—2017
硅晶体中铁、铝、钙等常见金属元素的定量
检测预处理方法
Pretreatment method of quantitative detection of iron, aluminum, calcium and other
common metal elements in silicon crystal
2017 - 01 - 01 发布 2017 - 01 - 01 实施
青岛蓝光晶科新材料有限公司 发 布
Q/370282LGJK 014—2017
目 次
前言 II
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 方法原理 1
4 试剂和材料 1
5 设备和仪器 2
6 预处理方法 2
6.1 样品的制备 2
6.2 样品的消解处理 2
6.3 样品的浓缩 2
6.4 样品的定容 2
6.5 空白试验 2
7 预处理结果的评定 2
I
Q/370282LGJK 014—2017
前 言
本标准由青岛蓝光晶科新材料有限公司科创中心提出并归口。
本标准起草单位：青岛蓝光晶科新材料有限公司。
本标准主要起草人：刘鑫业、池明、李鹏廷。
II
Q/370282LGJK 014—2017
硅晶体中铁、铝、钙等常见金属元素的定量检测预处理方法
1 范围
本标准规定了硅晶体中铁、铝、钙等常见金属元素的定量检测的预处理方法的方法原理、试剂和材
料、设备和仪器、预处理方法以及预处理结果的评定。
本标准适用于工业硅中的硅含量为99.9 %~99.99 %的样品中非硅杂质中的铁、铝、钙等常见金属元
素定量分析的样品预处理。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 14849.4-2014 工业硅化学分析方法 第4 部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法测定元素
含量
3 方法原理
用氢氟酸和硝酸将工业硅中的硅分解，硅元素以SiF 的形式从基体中挥发出去，其它不易挥发的杂
4
质用硝酸溶解并用超纯水定容至一定体积后，最后用分析检测仪器进行分析。
反应方程如公式1和公式2所示。
Si+4HNO +6HF→H SiF +4NO ↑+4H O ………………（1）
3 2 6 2 2
3Si+4HNO +12HF→3SiF ↑+4NO↑+8H O ………………（2 ）
3 4 2
4 试剂和材料
4.1 超纯水
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