激光玻璃切片的三维热应力分析..docVIP

文献翻译 浙江工业大学 李航 PAGE \* MERGEFORMAT PAGE \* MERGEFORMAT 1 玻璃激光切片的三维热应力分析 山本浩二，川本羽坂，森田秀树，大村悦治 摘要 在激光切割玻璃过程中，通过使用二氧化碳激光照射会使玻璃平板内部产生热应力。激光照射后，玻璃平板会经过冷却液枪迅速冷却。 为了对切割质量及断裂路径的成因进行理论说明，激光照射实验中使用厚度为0.7mm的钠钙玻璃来获取划线参数。此外，还要观察加热区和冷却区之间不同距离的断裂路径及裂纹截面。在实验获得划线参数的基础上，考虑接下来的一些发现，通过有限元法建立了对其的三维热应力分析。划线参数可以通过在最大表面拉应力及冷却区的最大表面温度估算得来。切割中的断裂路径是基于冷却区的表面拉应力及冷却区下方的压应力区域的。 关键词:热应力、裂纹深度、激光照射 1.引言 近些年来，平板电视，个人笔记本电脑以及手机的发展非常的迅速，因此，对于这些产品所使用的LCD及PDP面板的需求也迅速地增长。LCD及PDP面板的制造必然要经过切割玻璃基体的过程。这个过程会非常显著地影响产量。因此， 需要一种有较少颗粒生成的切割方法。此外，特别是在移动设备中，LCD及PDP都需要有足够的强度来避免在跌落中产生的损伤。 在一种目前所用到的主要的切割方法中，使用的是一种滚轮刀具，其中会有弯曲应力，因此，切割才得以完成。然而，由于这种切割方法是一种机械过程，其中，刀具直接按压在玻璃面板上，应力集中是不可避免的。此外，切割边缘处会出现细小的裂纹，所以很容易从裂口处开始出现破损。 另一方面，也有非接触式的激光切割方法，在熔融区进行冷却时出现裂纹。 在激光切除的过程中，尽管微加工是可能的，但切割平面不可能成为一个镜面平面。切割面中可能会出现细微裂纹。在这些处理方法中，玻璃边缘处会出现断裂和细微裂纹，所以玻璃基体的断裂很可能从这些裂纹开始扩展。玻璃切割处理中较高的边缘强度并不能得到达到。尽管这些处理方法并不适合FPD玻璃的切割，但这些处理方法成为了主要的激光束加工方法，并且基于不同情况的机械处理方法也得到了理论分析。这里介绍的是一种是激光照射热应力切割法。使用这种方法可以减少颗粒和裂纹的生成。在这种切割过程中，激光照射实验是在玻璃、陶瓷等材料上进行的。此外，对机械断裂过程的理论分析也已做了研究。 但是通过热应力来控制裂纹的扩展却非常难，因为它会受到基体尺寸或例如中心或者边缘的切割位置的影响。 这里提出的是一种在二氧化碳激光切割后直接冷却的方法。图1展示了使用这种方法时的一个切割面。据Miyake和Hermanns的研究表明由于在切割边缘处没有微小裂纹，产生颗粒的数量减少了玻璃边缘的强度也得到了提升。因此，激光切割玻璃是一种有效的处理方法。尽管如此，至今仍没有激光切割的分析发表，因此，现阶段其处理机制仍不清楚。如此，在现今的研究中，通过激光照射实验可获得其切割情况。此外，在加热区和冷却区之间距离值不同的切割表面可观察到裂纹深度及裂纹形状。在实验结果的基础上，为了获得切割质量与裂纹深度控制因素的理论说明 ，通过有限元法对其做了三维热应力分析。 2.实验方法 图2是激光切割的实验装置 。在使用轮式刀具的方法中，玻璃面板的边缘会形成一种作为切割源点的初始裂纹。 然后，使用两个镀金镜面和两个滤镜片，标称功率为250W的激光束透过以上装置在表面上形成波长为10.6微米的椭圆形激光束。初始裂纹形成后，激光束照射到玻璃面板的表面，而工作台是用于在激光束和玻璃面板之间产生一个相对速度。加热会沿着一条已经画好的线进行。通过冷却液枪，椭圆激光束尾部附近会迅速冷却下来。由于这些技术的优点，在冷却区域中形成了一条以初始裂纹为起点的中间裂纹。 使用的样品是厚度为0.7mm x 300mm x 400mm的钠钙平板玻璃。切割过程沿宽边进行。当裂纹在此区域从50mm扩展至250mm时，被视为一次scribable 。表1是所使用钠钙玻璃的物理参数。二氧化碳激光的反射率是通过一个红外分光光度计测得的。其反射率为18.5%。 3.热应力分析 在获取实验中切割参数的基础上，使用一种广泛应用的软件Quick Welder 的有限元法做一种不规则三维热应力分析。表2显示的是激光划线参数。切割速率和激光功率取的都是经验值。冷却区的平均热传导效率α0是通过水枪的流速计算得来。图3例举了一个由激光照射所形成的加热区，经过冷却液枪时形成的冷却区以及它们的相对位置。在激光照射的玻璃表面上定义一个x-y轴坐标系，y轴为切割方向，z轴是面板的厚度方向。 图4是三维有限元热应力分析的几何模型。其使用的是一种8