激光、电子束、离子束三束区别..doc

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2019-01-14 发布于湖北
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激光、电子束、离子束三束区别..doc

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HYPERLINK /search?word=%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 电子束、 HYPERLINK /search?word=%E7%A6%BB%E5%AD%90%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 离子束、 HYPERLINK /search?word=%E6%BF%80%E5%85%89%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 激光束是 HYPERLINK /search?word=%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%B7%A5%E7%A8%8Bfr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高 HYPERLINK /search?word=%E8%83%BD%E9%87%8F%E5%AF%86%E5%BA%A6fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 能量密度特性。顾名思义 HYPERLINK /search?word=%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%9D%9F%E5%8A%A0%E5%B7%A5fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 电子束加工是以激发电子作为载体， HYPERLINK /search?word=%E7%A6%BB%E5%AD%90%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 离子束则以离子。 HYPERLINK /search?word=%E7%A6%BB%E5%AD%90%E6%9D%9F%E5%8A%A0%E5%B7%A5fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 离子束加工是一种元素注入过程，具有 HYPERLINK /search?word=%E8%BE%90%E7%85%A7%E6%8D%9F%E4%BC%A4fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 辐照损伤、 HYPERLINK /search?word=%E5%96%B7%E4%B8%B8fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 喷丸作用、表面压缩、形成表面 HYPERLINK /search?word=%E9%9D%9E%E6%99%B6%E6%80%81fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 非晶态，形成弥散化合物 HYPERLINK /search?word=%E8%B4%A8%E7%82%B9fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 质点等效应，而 HYPERLINK /search?word=%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 电子束与 HYPERLINK /search?word=%E6%BF%80%E5%85%89%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 激光束的主要作用在高能量，没有 HYPERLINK /search?word=%E8%BE%90%E7%85%A7fr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 辐照、表面压缩等特性。电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高能量密度特性。顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体，离子束则以离子。离子束加工是一种元素注入过程，具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态，形成弥散化合物质点等效应，而电子束与激光束的主要作用在高能量，没有辐照、表面压缩等特性 HYPERLINK /search?word=%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 电子束聚焦点最细最深， HYPERLINK /search?word=%E6%BF%80%E5%85%89%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 激光束次之，离子束最粗。 HYPERLINK /search?word=%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%9D%9Ffr=qb_search_expie=utf8 \t _blank 电子束聚焦直径（打孔）最小可以小于1um。电子束由电子组成，而离子束一般由金属粒子组成，本质的原理是一样的。都有溅射作用，对样品损伤也没一定的规律。但对于石英材料来讲，损伤很明显。