集成电路制造工世艺教案.docVIP

PAGE 四川信息职业技术学院 教 案 课程编码： 0231124 课程名称： 集成电路制造工艺 课程性质： 必修课 总学时/学分： 64/4 授课专业： 微电子技术 授课教师： 王志强 使用学期： 2012 —2013 学年第 1 学期 教研室审批意见及时间： 课程基本信息 课程标准名称、批准单位及时间 微电子技术专业11级《集成电路制造工艺》课程标准； 考核方式：形成性考核30%0+终结性考核70%（开卷）。 电子工程系，2011年8月 采用教材名称、作者、出版社及版本 《集成电路制造工艺》，林明祥，机械工业出版社，2011.1 教学参考资料 《微电子产业及单晶硅材料》，李可为，电子高专2006.6 《集成电路芯片制造原理与技术》，李可为，电子高专2006.6 教法、学法建议 教法：讲授法、引导法、观摩法等 学法：自学法、笔记法、讨论法。 班级 名称 班 编号 本学期 总学时 其 中 讲授时数 实训或实验课时数 习题(讨论) 课时